臺階儀的類別與基本原理

2025-06-09 16:54:00 admin

表面形貌的測量通?？煞纸佑|式與非接觸式兩種，在各個應(yīng)用領(lǐng)域中，這兩個方法具有互補性，并且各有不同，因此在實際應(yīng)用以及選擇機器的時候，一定要根據(jù)具體情況而定，建議先咨詢相關(guān)的技術(shù)工程師。

本期主要說下接觸式表面形貌測量儀器：臺階儀

臺階儀根據(jù)使用傳感器的不同，接觸式臺階測量可以分為電感式、壓電式和光電式3種。

當(dāng)臺階儀的觸針在被測的物體表面輕輕滑過時，被接觸的物體表面微小的峰谷就會讓觸針在進行滑行的同時也做一些上下運動。因此表面輪廓的情況在一定程度上就被觸針的運動情況所體現(xiàn)出來。

以優(yōu)尼康主推的KLA臺階儀D系列臺階儀和P系列臺階儀為例，簡單看下：

觸針傳感器技術(shù)：高度分辨率低于0.1納米

光學(xué)杠桿傳感器: D系列臺階儀

圖片關(guān)鍵詞

電容傳感器 (LVDC): P系列臺階儀

圖片關(guān)鍵詞

所有KLA系列臺階儀探針均由金剛石制成，具有穩(wěn)定的可靠性

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