3D光學(xué)輪廓儀的特點(diǎn)以及應(yīng)用

2023-06-09 15:53:38 admin

3D光學(xué)輪廓儀的特點(diǎn)以及應(yīng)用

3D光學(xué)輪廓儀常用于測(cè)定樣品中被測(cè)區(qū)域的表面粗糙情況與輪廓形貌。本文以?xún)?yōu)尼康科技有限公司提供的一款3D光學(xué)輪廓儀為例，讓我們來(lái)了解一下吧。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

光學(xué)輪廓儀對(duì)各種產(chǎn)品，部件和材料的表面輪廓，粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。

應(yīng)用：

傳統(tǒng)的機(jī)械零件由于受加工設(shè)備的限制，對(duì)精度包括平面度，粗糙度的要求常規(guī)下停留在微米量級(jí)。但隨著技術(shù)發(fā)展，人們對(duì)機(jī)械零件的加工精度要求開(kāi)始向納米量級(jí)邁進(jìn)，設(shè)備加工精度的提高帶動(dòng)檢測(cè)技術(shù)的發(fā)展，傳統(tǒng)的檢測(cè)手段包括接觸式和2D方式的檢測(cè)方法對(duì)檢測(cè)納米量級(jí)精度的機(jī)械零件有很大的局限性。

光學(xué)輪廓儀應(yīng)用在光學(xué)加工行業(yè)時(shí)，其3D、高速、精密、可靠和穩(wěn)定，開(kāi)始引起加工人士的注意并開(kāi)始應(yīng)用。3D光學(xué)輪廓儀已在汽車(chē)發(fā)動(dòng)機(jī)噴油嘴、半導(dǎo)體切割刀具、人工關(guān)節(jié)制造、量塊標(biāo)定等方面有大量的應(yīng)用。一些特定功能如平面度、粗糙度、直線(xiàn)度和高度差等在機(jī)械加工檢測(cè)中呈現(xiàn)出新的應(yīng)用。

優(yōu)尼康科技有限公司提供的Profilm3D光學(xué)輪廓儀使用了垂直掃描干涉 (VSI) 結(jié)合高精確度相移干涉 (PSI) 測(cè)量。