優(yōu)尼康微課堂：臺階儀相關(guān)知識科普

2023-06-08 14:24:55 admin

臺階儀相關(guān)知識科普

優(yōu)尼康微課堂：什么是臺階儀？

臺階儀屬于接觸式表面形貌測量儀器，也叫探針式表面輪廓儀。臺階儀測量精度高、量程大、測量結(jié)果穩(wěn)定可靠、重復(fù)性好,被廣泛應(yīng)用在各行各業(yè)。

測量原理：

當(dāng)觸針沿被測表面輕輕滑過時(shí)，由于表面有微小的峰谷使觸針在滑行的同時(shí)，還沿峰谷作上下運(yùn)動(dòng)。觸針的運(yùn)動(dòng)情況就反映了表面輪廓的情況。

臺階儀性能優(yōu)劣取決于以下三個(gè)方面：

測試重復(fù)性、測試速度以及操作難易程度。這些因素決定了實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的質(zhì)量和實(shí)驗(yàn)操作的效率。

圖片關(guān)鍵詞

在這以我們優(yōu)尼康提供的一款KLA臺階儀為例，簡單介紹下，

型號：P-17

圖片關(guān)鍵詞

支持從幾納米到一毫米的臺階高度測量，適用于生產(chǎn)和研發(fā)環(huán)境。

P-17是KLA臺式探針輪廓儀。該系統(tǒng)支持對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進(jìn)行2D和3D測量，其掃描可達(dá)200mm而無需圖像拼接。

該系統(tǒng)結(jié)合了UltraLite傳感器、恒力控制和超平掃描平臺，具備出色的穩(wěn)定性。通過點(diǎn)擊式平臺控制、頂視和側(cè)視光學(xué)系統(tǒng)以及帶光學(xué)變焦的分辨率相機(jī)等功能，程序設(shè)置簡便快速。

P-17具備用于量化表面形貌的各種濾鏡、調(diào)平和分析算法，可以支持2D或3D測量。并通過圖案識別、排序和特征檢測實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)測量。

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