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- / CHInano 2025｜優(yōu)尼康即將參加蘇州納博會，邀您探討精密檢測前沿應用！
CHInano作為全國規(guī)模最大的納米技術(shù)領域展會集聚了一批精密檢測領域參展企業(yè)，現(xiàn)場商業(yè)合作氛圍高漲。本屆精密檢測專區(qū)將繼續(xù)匯聚國內(nèi)外頂尖精密檢測平臺、專業(yè)裝備行業(yè)巨頭參展，誠摯邀請您蒞臨，共同見證未來科技的誕生與發(fā)展！
優(yōu)尼康攜兩款重磅產(chǎn)品參加蘇州納博會，其中KLA旗下的Filmetrics F50自動Mapping膜厚測量儀自動并快速獲得薄膜的厚度分布圖，而Film Sense多波長橢偏儀對測量納米級薄膜有著超強實力。
B1館 533號優(yōu)尼康展臺，現(xiàn)場設置豐富的驚喜抽獎活動，期待與各位在CHInano 2025現(xiàn)場見！
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展會時間：2025年10月22-24日
展會地點：蘇州國際博覽中心
優(yōu)尼康展位： B1館 533號
(下方有圖示位置指引)
展館分布
展臺指引
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Filmetrics F50 自動Mapping膜厚測量儀 | ||
F50可以非常簡單地獲得最大直徑450毫米的樣品薄膜厚度分布圖。采用r-θ 極坐標移動平臺，可以快速定位所需的測試點并且實時獲得測試厚度，大約每秒測試兩點。 | ||
相關(guān)應用：半導體制造（光刻膠、氧化物/氮化物/SOI、晶圓背面研磨）；LCD 液晶顯示器（聚酰亞胺、ITO 透明導電膜）；光學鍍膜（硬涂層、抗反射層）；MEMS 微機電系統(tǒng)（光刻膠、硅系膜層）。 |
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FS-8 多波長橢偏儀 | ||
Film Sense FS-8 多波長橢偏儀采用壽命長 LED 光源和非移動式部件橢偏探測器，可在操作簡單的緊湊型橢偏儀中實現(xiàn)可靠地薄膜測量。 | ||
相關(guān)應用：二氧化硅和氮化物，高介電和低介電材料，非晶和多晶材料，硅薄膜，光刻膠。高和低指數(shù)薄膜，如 SiO2, TiO2, Ta2O5, MgF2。TCO（如 ITO），非晶硅薄膜，有機薄膜（OLED 技術(shù)）等。 |
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