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- / 實驗室減震新選擇：這種減震臺性能讓精密測量更穩(wěn)定
在半導體、新材料、生物醫(yī)學等前沿科研與生產(chǎn)領域，精密測量儀器的每一次“抖動”都可能讓數(shù)據(jù)產(chǎn)生偏差。環(huán)境中的低頻振動，是影響掃描電鏡、原子力顯微鏡、光學輪廓儀等設備測量精度的常見干擾源。如何有效隔絕這些微小振動？優(yōu)尼康科技有限公司（翌穎科技）引進的HERZ系列主動式減震系統(tǒng)，正憑借其出色的減震臺性能，為眾多實驗室提供了可靠的解決方案。
區(qū)別于傳統(tǒng)被動減震臺依賴彈簧或氣浮的“緩沖”方式，HERZ系列主動式減震系統(tǒng)采用了一種更主動的策略。其核心原理是利用控制器內(nèi)的壓電加速傳感器，實時感知來自地面或臺面的微小振動。這些傳感器將振動壓力信號轉(zhuǎn)換為電信號，傳送至隔振模塊中的壓電換能器。換能器會瞬間產(chǎn)生一個與傳入振動大小相等、方向相反的壓力信號，從而“抵消”掉傳入的振動。
這項技術(shù)的優(yōu)勢在于，它能夠針對1Hz到200Hz的低頻振動進行有效隔除，而這恰恰是傳統(tǒng)被動系統(tǒng)難以處理的頻段。在主動隔振范圍（1-200Hz）內(nèi)，其傳輸率在超過10Hz時即可低于-35dB，意味著超過98%的振動被有效隔離。當頻率高于200Hz時，系統(tǒng)則會切換至被動隔振模式，實現(xiàn)全頻段的振動抑制。
針對實驗室中不同類型的儀器，HERZ系列提供了豐富的選擇，確保每臺設備都能獲得合適的減震臺性能。
AVI-200系列：緊湊型主動隔振系統(tǒng)
這款產(chǎn)品適合集成到需要低頻隔振功能的現(xiàn)有設備中。它的響應時間極快，在5-20毫秒內(nèi)即可完成調(diào)整。對于原子力顯微鏡、干涉測量儀、輪廓儀等中小型精密儀器，AVI-200系列能提供6個自由度的隔振效果，且安裝簡單，無需復雜的空氣壓縮機等輔助設備。
AVI-400系列：模塊化主動隔振模塊
這款產(chǎn)品專為大型設備設計，以模塊化單元的形式呈現(xiàn)，可根據(jù)儀器的尺寸和重量靈活擴展。其特點是沒有低頻共振，振動恢復時間迅速（小于10毫秒），且采用低功耗技術(shù)，長時間運行也不會明顯升溫，避免了熱源對精密測量的影響。每個模塊的靜態(tài)柔度在垂直方向約為1.75μm/N，系統(tǒng)噪聲低于50nG/√Hz，為大型掃描電鏡、光刻設備提供了穩(wěn)定的工作基礎。
TS系列：桌面一體型主動防震臺
對于光學顯微鏡、臺階儀等桌面型設備，TS系列是理想之選。它集成了自動水平調(diào)節(jié)功能，即使負載重心偏離中心，也能自動調(diào)平，確保儀器始終處于水平穩(wěn)定狀態(tài)。其LCD顯示面板可以實時監(jiān)控來自X、Y、Z三個方向的振動情況，讓用戶對減震臺性能一目了然。
AVI-600與UT-1000A：大型與超大型儀器的解決方案
當面對重達數(shù)噸的透射電子顯微鏡或超高真空掃描探針顯微鏡時，AVI-600系列及定制化的UT-1000A平臺展現(xiàn)了其承載能力。通過增加隔振模塊的數(shù)量，系統(tǒng)承重最高可擴展至約4000公斤（9000磅）。UT-1000A平臺更是以超薄模塊化設計，簡化了安裝過程，無需專用起重設備即可為大型電鏡提供從0.5Hz開始的低頻隔振，幫助用戶從高倍率測量中獲得更清晰、穩(wěn)定的結(jié)果。
衡量減震臺性能的優(yōu)劣，最終要落在具體數(shù)據(jù)上。HERZ系列主動減震系統(tǒng)在多項關鍵指標上均有扎實表現(xiàn)：
隔振范圍：主動隔振覆蓋1Hz - 200Hz的關鍵低頻區(qū)域，被動隔振覆蓋大于200Hz的頻段，實現(xiàn)全頻段防護。
傳輸率：在超過10Hz時，傳輸率低于-35dB，意味著能隔絕約98.2%的振動能量。
響應時間：5-20毫秒的快速響應，使系統(tǒng)能及時應對突發(fā)的振動干擾。
系統(tǒng)噪聲：低于50nG/√Hz的本底噪聲，確保自身不會成為新的干擾源。
承重能力：從桌面級的數(shù)十公斤到大型設備的數(shù)噸，均有對應的模塊化方案支持。
選擇一套合適的減震系統(tǒng)，本質(zhì)上是為昂貴的精密儀器投資一個穩(wěn)定的測量環(huán)境。優(yōu)尼康科技有限公司（翌穎科技）提供的HERZ系列減震臺，不僅在產(chǎn)品性能上滿足了從研發(fā)到生產(chǎn)的多樣化需求，其背后更有一支具備多年行業(yè)經(jīng)驗的技術(shù)團隊提供支持。從前期需求溝通、現(xiàn)場勘察，到設備安裝調(diào)試、操作培訓，以及7x24小時的快速售后響應，形成了覆蓋設備全生命周期的服務閉環(huán)。
關于我們：優(yōu)尼康科技有限公司（翌穎科技）自成立以來，一直專注于精密薄膜測量與實驗室環(huán)境優(yōu)化領域，是Filmetrics膜厚儀中國區(qū)總代理。我們致力于以專業(yè)的產(chǎn)品與貼心的服務，為您的精密儀器保駕護航。
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