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FILMETRICS膜厚儀--光電子集成芯片技術(shù)中的應(yīng)用

光電子集成芯片技術(shù)包含光電子芯片外延生長(zhǎng)、光電子芯片設(shè)計(jì)與制作、光電子芯片的工藝開(kāi)發(fā)及封裝等等。特別是在制作光電子集成芯片的工藝過(guò)程中，需要嚴(yán)密控制SiOx，SiNx等膜層的厚度，以求達(dá)到工藝效果。FilmetricsF20 白光干涉膜厚測(cè)量?jī)x作為一款精度高、測(cè)試速度快、操作簡(jiǎn)便的高性能設(shè)備，可以很方便快速的測(cè)量這些膜層厚度。