KLA D600 探針式表面輪廓儀

接觸式臺(tái)階儀 | 光學(xué)杠桿傳感器 | 亞埃級(jí)分辨率 | 納米至毫米級(jí)臺(tái)階測(cè)量

KLA D600探針式表面輪廓儀

0.38?

垂直分辨率

臺(tái)階高度重復(fù)性

1200μm

Z向掃描范圍

0.03mg

最小探針作用力

D600 是一款采用光學(xué)杠桿傳感器的接觸式臺(tái)階儀，提供亞埃級(jí)垂直分辨率和最高1200μm的臺(tái)階高度測(cè)量范圍。測(cè)量結(jié)果與材料特性無(wú)關(guān)——無(wú)論是透明還是不透明、高反射還是低反射材料，均可直接精確測(cè)量。標(biāo)配200mm電動(dòng)樣品載臺(tái)、500萬(wàn)像素彩色相機(jī)和0.03-15mg可調(diào)微力控制，是半導(dǎo)體、LED、MEMS和材料科學(xué)領(lǐng)域工藝監(jiān)控的理想工具。

五大核心優(yōu)勢(shì)

高精

亞埃級(jí)分辨率

光學(xué)杠桿傳感器提供0.38?垂直分辨率和5?臺(tái)階高度重復(fù)性，輕松應(yīng)對(duì)納米級(jí)薄膜臺(tái)階測(cè)量需求。

普適

材料無(wú)關(guān)性

接觸式直接測(cè)量，與材料光學(xué)特性無(wú)關(guān)。透明、不透明、高反射或低反射率材料均可直接獲得準(zhǔn)確結(jié)果。

微力

微力可控

探針作用力0.03-15mg可調(diào)，即使是最脆弱的光刻膠、聚合物或生物涂層也能安全測(cè)量，不損傷表面。

多維

2D/3D全功能

支持2D輪廓掃描和3D形貌成像，同時(shí)提供粗糙度、波紋度、翹曲度和薄膜應(yīng)力（Stoney方程）測(cè)量。

便捷

即裝即用

體積小巧，操作直觀。500萬(wàn)像素彩色相機(jī)精準(zhǔn)定位測(cè)量區(qū)域，簡(jiǎn)單培訓(xùn)即可快速上手使用。

典型應(yīng)用領(lǐng)域

半導(dǎo)體前段/后段工藝LED & 化合物半導(dǎo)體太陽(yáng)能電池MEMS 微機(jī)電系統(tǒng)醫(yī)療設(shè)備汽車(chē)工程高校 & 研究機(jī)構(gòu)材料科學(xué)實(shí)驗(yàn)室

六項(xiàng)核心測(cè)量功能

臺(tái)階高度測(cè)量從納米級(jí)到1200μm的臺(tái)階高度精確測(cè)量，適用于蝕刻、濺射、沉積、旋涂、CMP等工藝中材料去除或添加量的量化分析。

2D表面輪廓掃描單線掃描獲取樣品表面高度變化曲線，橫向分辨率0.1μm，最大掃描長(zhǎng)度30mm，快速評(píng)估工藝均勻性。

3D形貌成像多條平行掃描線合成三維表面形貌圖，橫向分辨率1μm，最大掃描區(qū)域55mm×120mm，直觀呈現(xiàn)表面特征。

粗糙度 & 波紋度符合國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)的線粗糙度和面粗糙度參數(shù)分析，量化表面紋理特征，滿足工藝監(jiān)控和質(zhì)量控制需求。

翹曲度 & 曲率半徑測(cè)量樣品整體翹曲和曲率半徑，結(jié)合Stoney方程計(jì)算薄膜殘余應(yīng)力，優(yōu)化薄膜沉積工藝參數(shù)。

薄膜應(yīng)力測(cè)量基于Stoney方程，通過(guò)測(cè)量薄膜沉積前后基底的曲率變化，精確計(jì)算薄膜應(yīng)力，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體和光學(xué)鍍膜行業(yè)。

測(cè)量原理

光學(xué)杠桿傳感技術(shù)是D600的核心。探針沿樣品表面掃描時(shí)，轉(zhuǎn)軸組件上方的激光束因表面起伏發(fā)生偏轉(zhuǎn)。偏轉(zhuǎn)光束被分為兩路投射到光電探測(cè)器——一路用于小臺(tái)階高分辨率測(cè)量，另一路用于大臺(tái)階測(cè)量。激光束偏轉(zhuǎn)被實(shí)時(shí)轉(zhuǎn)換為高度信號(hào)。

核心優(yōu)勢(shì)：傳感器組件質(zhì)量輕，可實(shí)現(xiàn)0.03mg超低力測(cè)量；響應(yīng)速度快，精準(zhǔn)追蹤表面形貌變化。

接觸式臺(tái)階儀 vs 光學(xué)輪廓儀

對(duì)比維度	D600 探針式輪廓儀	光學(xué)輪廓儀（白光干涉）
測(cè)量原理	接觸式——金剛石探針掃描	非接觸式——白光干涉光學(xué)成像
材料適用性	與材料光學(xué)特性無(wú)關(guān)，全適用	依賴表面反射率，低反射材料受限
臺(tái)階高度范圍	納米級(jí)至1200μm	納米級(jí)至毫米級(jí)
垂直分辨率	0.38?	亞納米級(jí)（PSI模式）
測(cè)量維度	2D線掃描 + 3D面掃描	3D面掃描
典型優(yōu)勢(shì)	材料無(wú)關(guān)、高臺(tái)階、低成本	非接觸、無(wú)損傷、速度快

產(chǎn)品參數(shù)

垂直分辨率	0.38?	臺(tái)階高度重復(fù)性	5? 或 0.1%（取較大值）
Z向掃描范圍	1200μm	探針作用力范圍	0.03 – 15mg（可調(diào)）
2D最大掃描長(zhǎng)度	30mm（分辨率0.1μm）	3D最大掃描區(qū)域	55mm × 120mm（分辨率1μm）
掃描速度	10 – 400μm/s	采樣率	60 – 2000Hz
XY樣品臺(tái)（自動(dòng)）	150mm × 178mm	Theta旋轉(zhuǎn)臺(tái)（手動(dòng)）	360°
樣品臺(tái)直徑	80mm / 20mm	最大樣品厚度	30mm
相機(jī)	500萬(wàn)像素高分辨率彩色相機(jī)	傳感器技術(shù)	光學(xué)杠桿傳感器
認(rèn)證	符合CE標(biāo)準(zhǔn)

實(shí)測(cè)數(shù)據(jù)展示

常見(jiàn)問(wèn)題

D600和光學(xué)輪廓儀（如Profilm3D）有什么區(qū)別？

D600是接觸式臺(tái)階儀，使用金剛石探針掃描樣品表面；光學(xué)輪廓儀是非接觸式白光干涉成像。核心區(qū)別：D600測(cè)量結(jié)果與材料光學(xué)特性無(wú)關(guān)，透明、不透明、高反射、低反射材料均可直接測(cè)量；D600特別適合測(cè)量高臺(tái)階（最高1200μm），光學(xué)輪廓儀在大臺(tái)階處可能受景深限制；光學(xué)輪廓儀可快速獲取大面積3D形貌，D600適合高精度單線臺(tái)階測(cè)量。兩者在實(shí)際應(yīng)用中互為補(bǔ)充。

D600的探針會(huì)劃傷我的樣品嗎？

D600的探針作用力可在0.03-15mg范圍內(nèi)靈活調(diào)節(jié)。對(duì)于光刻膠、聚合物、生物涂層等軟材料，選擇0.03-1mg的超低力設(shè)置可安全測(cè)量，不會(huì)產(chǎn)生可見(jiàn)劃痕。對(duì)于硬質(zhì)材料（如金屬、陶瓷），使用較高作用力可獲得更穩(wěn)定的測(cè)量信號(hào)。探針尖端半徑也有多種規(guī)格可選，可根據(jù)樣品類型靈活匹配。

D600可以測(cè)量哪些參數(shù)？

D600支持以下核心測(cè)量功能：臺(tái)階高度（納米至1200μm）；2D表面輪廓和3D形貌成像；線粗糙度和面粗糙度參數(shù)（Ra、Rq、Rz等）；波紋度分析；樣品翹曲度和曲率半徑；基于Stoney方程的薄膜應(yīng)力計(jì)算。一臺(tái)設(shè)備覆蓋從工藝監(jiān)控到失效分析的全部表面輪廓測(cè)量需求。

D600的光學(xué)杠桿傳感器有什么優(yōu)勢(shì)？

光學(xué)杠桿傳感器是D600區(qū)別于傳統(tǒng)臺(tái)階儀的核心技術(shù)。它利用激光束在轉(zhuǎn)軸組件表面的反射來(lái)跟蹤探針的垂直位移，整個(gè)傳感器組件質(zhì)量極小，因此可以實(shí)現(xiàn)0.03mg的超低探針力測(cè)量。同時(shí)響應(yīng)速度快，能精準(zhǔn)追蹤表面形貌的快速變化。雙探測(cè)器設(shè)計(jì)——一路用于小臺(tái)階高分辨率測(cè)量，另一路用于大臺(tái)階測(cè)量——兼顧了高精度和寬動(dòng)態(tài)范圍。

D600適合哪些行業(yè)和應(yīng)用？

D600廣泛應(yīng)用于：半導(dǎo)體晶圓制造（光刻膠厚度、蝕刻深度、CMP工藝監(jiān)控）、LED和化合物半導(dǎo)體、MEMS微機(jī)電系統(tǒng)、太陽(yáng)能電池、汽車(chē)工程、醫(yī)療設(shè)備涂層以及高校材料科學(xué)研究。特別適合需要精確量化材料添加或去除量的工藝步驟，也常用于SIMS凹陷深度測(cè)量和薄膜應(yīng)力分析。

相關(guān)產(chǎn)品推薦

Profilm3D 光學(xué)輪廓儀

白光干涉，非接觸3D形貌

查看詳情 →

F20 光學(xué)膜厚儀

光譜反射，1秒薄膜測(cè)厚

查看詳情 →

G200X 納米壓痕儀

旗艦級(jí)納米力學(xué)測(cè)試平臺(tái)

查看詳情 →