光通訊
優(yōu)尼康科技提供光通訊器件全流程膜厚測(cè)量方案：Filmetrics F20/F50/F54膜厚儀、F3-sX厚膜測(cè)厚儀、F32在線膜厚監(jiān)控系統(tǒng)等。覆蓋平面波導(dǎo)(PLC)晶圓膜厚、DWDM窄帶濾光片膜層厚度、鈮酸鋰薄膜厚度與光學(xué)常數(shù)(n/k)、光通訊芯片SiOx/SiNx介質(zhì)膜等關(guān)鍵參數(shù)測(cè)量，助力光通訊器件研發(fā)與量產(chǎn)良率提升。
優(yōu)尼康科技提供光通訊器件全流程膜厚測(cè)量方案：Filmetrics F20/F50/F54膜厚儀、F3-sX厚膜測(cè)厚儀、F32在線膜厚監(jiān)控系統(tǒng)等。覆蓋平面波導(dǎo)(PLC)晶圓膜厚、DWDM窄帶濾光片膜層厚度、鈮酸鋰薄膜厚度與光學(xué)常數(shù)(n/k)、光通訊芯片SiOx/SiNx介質(zhì)膜等關(guān)鍵參數(shù)測(cè)量，助力光通訊器件研發(fā)與量產(chǎn)良率提升。
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