FilmSense? FS-8 多波長(zhǎng)橢偏儀
第四代多波長(zhǎng)橢圓偏振光譜測(cè)量系統(tǒng)——8波長(zhǎng)LED光源，無(wú)移動(dòng)部件，1秒獲取膜厚、折射率n&k值
8 LED波長(zhǎng)數(shù)（370-950nm） | 0.0004nm 膜厚精密度（1秒采集） | 0-5μm 透明膜厚度范圍（FS-8） | ＞50,000h LED光源壽命 |
產(chǎn)品介紹
FilmSense FS-8 多波長(zhǎng)橢偏儀是第四代橢偏測(cè)量技術(shù)的結(jié)晶，采用8個(gè)長(zhǎng)壽命LED光源（光譜范圍370–950nm）和無(wú)移動(dòng)部件的橢圓偏振探測(cè)器，在緊湊型系統(tǒng)中實(shí)現(xiàn)快速而可靠的薄膜測(cè)量。與光反射膜厚儀不同，橢偏儀通過(guò)分析偏振光反射前后的偏振態(tài)變化（振幅比Ψ和相位差Δ）來(lái)計(jì)算薄膜厚度，對(duì)超薄膜的敏感度遠(yuǎn)優(yōu)于反射法——膜厚精密度可達(dá)0.0004nm，即使是亞單原子層的薄膜也能精確表征。
第四代FS-8較上一代新增了多個(gè)波長(zhǎng)，其中370nm紫外波長(zhǎng)對(duì)厚度小于10nm的超薄膜提供增強(qiáng)靈敏度；而735nm、850nm和950nm三個(gè)長(zhǎng)波長(zhǎng)則使透明膜測(cè)量上限擴(kuò)展至5μm，并能測(cè)量多晶硅、SiGe、非晶硅等吸收性半導(dǎo)體膜，還可通過(guò)Drude模型進(jìn)行薄膜電阻率測(cè)量。一體化的緊湊設(shè)計(jì)——光源僅125×80×60mm，探測(cè)器110×80×60mm——加上12V電源和以太網(wǎng)連接，使其不僅適合實(shí)驗(yàn)室桌面，更可安裝至薄膜沉積設(shè)備的真空腔體法蘭上，實(shí)現(xiàn)原位實(shí)時(shí)在線橢偏測(cè)量。
專利技術(shù)FilmSense FS-8 以單一波長(zhǎng)橢偏儀的價(jià)格提供全光譜橢偏儀的效能。無(wú)移動(dòng)部件的探測(cè)器設(shè)計(jì)確保了長(zhǎng)期可靠性，集成計(jì)算機(jī)和網(wǎng)頁(yè)瀏覽器界面使操作維護(hù)極其簡(jiǎn)單，無(wú)需復(fù)雜軟件安裝。
為什么選擇FS-8？—— 六大核心技術(shù)優(yōu)勢(shì)
【亞單原子層膜厚精密度】FS-8對(duì)大多數(shù)樣品的膜厚精密度優(yōu)于0.0004nm（1秒數(shù)據(jù)采集），可達(dá)亞單原子層薄膜厚度的精密度水平。橢偏測(cè)量原理直接利用偏振光的相位變化，對(duì)超薄膜（<10nm）的敏感度遠(yuǎn)超光反射法，是納米級(jí)橢偏膜厚測(cè)量的理想工具。
【8波長(zhǎng)覆蓋紫外至近紅外】370nm紫外波長(zhǎng)專為超薄膜測(cè)量提供增強(qiáng)靈敏度；735nm、850nm、950nm長(zhǎng)波長(zhǎng)可測(cè)量更厚的透明膜（最高5μm）和吸收性半導(dǎo)體膜（如多晶硅、SiGe、非晶硅），同時(shí)支持Drude模型進(jìn)行薄膜電阻率測(cè)量。
【無(wú)移動(dòng)部件·免維護(hù)設(shè)計(jì)】探測(cè)器內(nèi)部完全無(wú)移動(dòng)部件，配合壽命超過(guò)50,000小時(shí)的LED光源，無(wú)需更換昂貴燈具，無(wú)需耗時(shí)的對(duì)準(zhǔn)校準(zhǔn)或預(yù)防性維護(hù)程序。電動(dòng)光源偏振器支持自動(dòng)校準(zhǔn)和區(qū)域平均測(cè)量，進(jìn)一步提升橢偏測(cè)量精度。
【Model Builder 智能模型建立】橢偏數(shù)據(jù)分析通常十分復(fù)雜，F(xiàn)S-8配備革命性的Model Builder功能。用戶只需回答幾個(gè)關(guān)于樣品名義結(jié)構(gòu)的簡(jiǎn)單問(wèn)題，軟件即可自動(dòng)建立并測(cè)試多個(gè)模型——從理想模型到包含表面粗糙度和折射率梯度的非理想模型——并推薦最優(yōu)擬合模型。
【原位在線測(cè)量能力】FS-8可適配標(biāo)準(zhǔn)2.75英寸或1.33英寸真空法蘭，直接安裝于MBE、MOCVD、ALD、磁控濺射等薄膜沉積設(shè)備的真空腔體上，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)薄膜沉積速率和光學(xué)常數(shù)（n&k值），支持多層膜結(jié)構(gòu)沉積的在線橢偏監(jiān)測(cè)與控制。
【緊湊輕巧·瀏覽器操作】FS-8占地面積僅180×400mm，重量?jī)H5kg，是市面上最緊湊輕巧的多波長(zhǎng)橢偏儀之一。集成計(jì)算機(jī)通過(guò)網(wǎng)絡(luò)接口提供瀏覽器訪問(wèn)界面，無(wú)需安裝任何軟件，從任何現(xiàn)代計(jì)算機(jī)、筆記本或平板均可直接操作和數(shù)據(jù)分析。
橢偏儀與光反射膜厚儀的差異
橢偏儀和光反射膜厚儀是兩種主流的非接觸式光學(xué)薄膜測(cè)量技術(shù)。光反射儀（如Filmetrics F20/F50系列）通過(guò)分析薄膜反射的干涉光譜來(lái)測(cè)量厚度，操作簡(jiǎn)便快捷，適合常規(guī)膜厚檢測(cè)；橢偏儀則在此基礎(chǔ)上進(jìn)一步利用偏振光的相位變化，對(duì)超薄膜的敏感度更高，并能同時(shí)精確測(cè)定折射率（n）和消光系數(shù)（k）。兩者各有所長(zhǎng)，適合不同的應(yīng)用場(chǎng)景：
| 對(duì)比維度 | FS-8 多波長(zhǎng)橢偏儀 | 光反射膜厚儀（F20/F50系列） |
|---|
| 測(cè)量原理 | 偏振光反射前后偏振態(tài)變化（Ψ, Δ） | 反射光干涉光譜強(qiáng)度分析 |
| 核心優(yōu)勢(shì) | 超薄膜敏感度極高，可直接測(cè)定n&k值 | 操作簡(jiǎn)便快速，測(cè)量范圍更寬（nm-mm） |
| 超薄膜精密度 | 0.0004nm（亞單原子層級(jí)） | 0.02nm |
| 典型厚度范圍 | 0-5μm（透明膜） | 1nm-3mm（視配置） |
| n&k值測(cè)定 | 核心能力，同時(shí)測(cè)定厚度與光學(xué)常數(shù) | 膜厚≥50nm時(shí)可測(cè)定n&k |
| 原位測(cè)量 | 支持真空腔體安裝，實(shí)時(shí)在線監(jiān)測(cè) | 通常僅限非原位桌面測(cè)量 |
| 操作復(fù)雜度 | 需建立光學(xué)模型，Model Builder簡(jiǎn)化 | 即開(kāi)即用，一鍵測(cè)量 |
| 適用場(chǎng)景 | 超薄膜研究、n&k表征、原位工藝監(jiān)控 | 產(chǎn)線快速質(zhì)檢、大范圍厚度檢測(cè) |
典型應(yīng)用場(chǎng)景
FS-8多波長(zhǎng)橢偏儀的核心價(jià)值在于“同時(shí)獲取膜厚和光學(xué)常數(shù)”的獨(dú)特能力，尤其擅長(zhǎng)超薄膜的精確定量表征和吸收性半導(dǎo)體膜的測(cè)量。以下是最典型的應(yīng)用領(lǐng)域和場(chǎng)景：
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 橢偏測(cè)量場(chǎng)景描述 | 典型測(cè)量對(duì)象 |
|---|
| 半導(dǎo)體制造 | 柵氧化層、高k/低k介質(zhì)等超薄膜的精確厚度和光學(xué)常數(shù)表征。橢偏測(cè)量對(duì)<10nm薄膜的敏感度遠(yuǎn)超反射法，是先進(jìn)制程中超薄柵介質(zhì)橢偏測(cè)量的首選技術(shù)。FS-8的8個(gè)波長(zhǎng)可覆蓋從紫外到近紅外的完整光譜范圍，滿足不同膜層材料的測(cè)量需求。 | SiO?柵氧化層、SiNx鈍化層、高k介質(zhì)（HfO?等）、低k介質(zhì)、多晶硅/非晶硅薄膜、光刻膠 |
| 光學(xué)薄膜 | 增透膜、高反膜、濾光片等光學(xué)鍍膜的厚度和折射率精確測(cè)定。橢偏儀可直接獲取薄膜的n&k值，判斷鍍膜工藝是否達(dá)到設(shè)計(jì)光學(xué)性能，是光學(xué)薄膜橢偏分析的理想選擇。多樣本分析功能可通過(guò)測(cè)量不同厚度的同種薄膜來(lái)確定未知材料的光學(xué)常數(shù)。 | SiO?/TiO?/Ta?O?/MgF?增透膜、介質(zhì)反射鏡、帶通濾光片、硬質(zhì)涂層 |
| 平板顯示 | OLED有機(jī)功能層、TCO透明導(dǎo)電氧化物薄膜的厚度和光學(xué)常數(shù)測(cè)量。ITO等透明電極的n&k值對(duì)顯示器件的光學(xué)性能影響顯著，橢偏法是表征透明導(dǎo)電膜橢偏特性最有效的方法。 | ITO透明導(dǎo)電膜、OLED有機(jī)層（發(fā)光層/注入層/傳輸層）、非晶硅TFT、聚酰亞胺 |
| 工藝研發(fā)（原位監(jiān)測(cè)） | 在薄膜沉積過(guò)程中實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)生長(zhǎng)速率和光學(xué)常數(shù)變化。FS-8可安裝在MBE、MOCVD、ALD、磁控濺射設(shè)備的真空腔體上，不破壞真空即可實(shí)時(shí)獲取膜厚和n&k數(shù)據(jù)，支持多層膜結(jié)構(gòu)沉積的在線橢偏終點(diǎn)控制。 | 沉積速率、薄膜光學(xué)常數(shù)（n&k）、多層膜生長(zhǎng)過(guò)程、刻蝕深度實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè) |
| 光伏太陽(yáng)能 | 太陽(yáng)能電池減反射膜和鈍化層的厚度與光學(xué)常數(shù)表征。橢偏測(cè)量可精確控制減反射膜的折射率與設(shè)計(jì)值的一致性，提高電池光電轉(zhuǎn)換效率。 | SiNx減反射膜、TCO窗口層、非晶硅/微晶硅薄膜、鈍化層 |
| 數(shù)據(jù)存儲(chǔ) | 硬盤保護(hù)膜、磁性薄膜等超薄膜層的厚度和光學(xué)特性表征。橢偏儀對(duì)碳保護(hù)膜等超薄類金剛石薄膜的敏感度極高，是數(shù)據(jù)存儲(chǔ)行業(yè)薄膜橢偏測(cè)量的標(biāo)準(zhǔn)方法。 | 碳保護(hù)膜（DLC）、磁性薄膜、潤(rùn)滑層 |
| 生物與化學(xué)傳感 | 在液體環(huán)境中探測(cè)亞單原子層材料在功能化表面的吸附過(guò)程。橢偏儀對(duì)表面吸附層極為敏感，結(jié)合浸入式橢偏測(cè)量技術(shù)和液體樣品池，可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)生物分子在傳感器表面的結(jié)合動(dòng)力學(xué)。 | 生物涂層厚度、自組裝單分子膜（SAM）、蛋白質(zhì)吸附層、抗原-抗體結(jié)合 |
| 工業(yè)在線監(jiān)測(cè) | 生產(chǎn)線上的在線膜厚和光學(xué)常數(shù)監(jiān)測(cè)。FS-8通過(guò)FS-API界面支持LabVIEW等外部軟件控制，可集成至自動(dòng)化產(chǎn)線，實(shí)現(xiàn)在線橢偏膜厚監(jiān)控。 | 大面積鍍膜均勻性、產(chǎn)線在線膜厚、自動(dòng)化質(zhì)量控制 |
測(cè)量原理
FS-8多波長(zhǎng)橢偏儀基于橢圓偏振測(cè)量原理進(jìn)行非接觸式膜厚和光學(xué)常數(shù)測(cè)量。其核心工作流程為：LED光源發(fā)出的光經(jīng)過(guò)起偏器形成已知偏振態(tài)的線偏振光，以65°固定入射角照射到薄膜樣品表面。光在薄膜上下界面發(fā)生反射和干涉后，反射光的偏振態(tài)由線偏振變?yōu)闄E圓偏振——這一變化由薄膜的厚度、折射率（n）和消光系數(shù)（k）共同決定。探測(cè)器通過(guò)分析反射光中P偏振分量和S偏振分量之間的振幅比（Ψ）和相位差（Δ），配合光學(xué)模型擬合，精確計(jì)算出薄膜厚度和光學(xué)常數(shù)（n&k值）。
橢偏法與光反射法的核心區(qū)別在于：反射法僅分析反射光的強(qiáng)度（干涉光譜），而橢偏法則同時(shí)利用強(qiáng)度和相位兩個(gè)維度，因此對(duì)超薄膜具有更高的敏感度，且無(wú)需依賴已知的材料光學(xué)常數(shù)數(shù)據(jù)庫(kù)即可直接測(cè)定薄膜的n和k值。FS-8的8個(gè)LED波長(zhǎng)覆蓋370-950nm光譜范圍，電動(dòng)光源偏振器支持自動(dòng)校準(zhǔn)和區(qū)域平均測(cè)量，確保了測(cè)量精度和長(zhǎng)期穩(wěn)定性。
測(cè)量能力與表現(xiàn)
FS-8多波長(zhǎng)橢偏儀在透明單層薄膜的厚度和折射率測(cè)量方面表現(xiàn)優(yōu)異。透明膜厚度上限通常為2-5μm，具體取決于橢偏儀配置和基底/薄膜的光學(xué)常數(shù)。為獲得準(zhǔn)確的折射率測(cè)量結(jié)果，膜厚一般需要大于10nm。
對(duì)于吸收性薄膜（如金屬薄膜、多晶硅等），數(shù)據(jù)分析更加復(fù)雜，但FilmSense軟件提供多種確定n&k值的方法：
多樣本分析：通過(guò)測(cè)量不同厚度的同種薄膜來(lái)確定光學(xué)常數(shù)
橢偏+透射率聯(lián)合測(cè)量：結(jié)合兩種數(shù)據(jù)提高吸收膜分析的準(zhǔn)確性
浸入式橢偏測(cè)量：使用液體樣品池在液體環(huán)境中測(cè)量
色散模型擬合：使用Cauchy、Tauc-Lorentz、Drude等物理模型分析
吸收膜的厚度上限與材料類型密切相關(guān)，金屬膜通常上限約50nm。FS-8還可測(cè)量多層薄膜堆疊（有時(shí)多達(dá)5層），可在FilmSense軟件中進(jìn)行模擬以確定特定樣品結(jié)構(gòu)的可行性，對(duì)于某些樣品還可以表征薄膜中的表面粗糙度和折射率梯度。
FilmSense 系列波長(zhǎng)對(duì)比
FilmSense第四代橢偏儀系列提供FS-4和FS-8兩種型號(hào)，主要區(qū)別在于波長(zhǎng)數(shù)量和光譜覆蓋范圍。FS-4為經(jīng)濟(jì)型4波長(zhǎng)配置，F(xiàn)S-8為高精度8波長(zhǎng)全光譜配置。
| 系統(tǒng)型號(hào) | 代際 | 波長(zhǎng)數(shù) | 370nm | 450nm | 525nm | 595nm | 660nm | 735nm | 850nm | 950nm |
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| FS-1 | Gen.2&3 | 4 |
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| FS-1EX | Gen.2&3 | 6 |
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| FS-4 | Gen.4 | 4 |
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| ? | ? | ? | ? |
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| FS-8 | Gen.4 | 8 | ? | ? | ? | ? | ? | ? | ? | ? |
FS-8覆蓋完整的8波長(zhǎng)（370-950nm），具備超薄膜測(cè)量、厚透明膜測(cè)量、吸收性半導(dǎo)體膜測(cè)量和薄膜電阻率測(cè)量的全功能。
產(chǎn)品參數(shù)
| 產(chǎn)品型號(hào) | FS-8（第四代） | 產(chǎn)地 | 美國(guó) |
| 波長(zhǎng)數(shù) | 8個(gè)（370, 450, 525, 595, 660, 735, 850, 950 nm） | 光譜范圍 | 370 – 950 nm |
| 光源 | 長(zhǎng)壽命LED（>50,000小時(shí)） | 探測(cè)器 | 無(wú)移動(dòng)部件橢圓偏振探測(cè)器 |
| 入射角 | 65° | 光束尺寸 | 4 × 9mm（可選0.8×1.9mm或0.25×0.55mm） |
| 膜厚精密度 | 優(yōu)于0.0004nm（多數(shù)樣品，1秒采集） | 膜厚重復(fù)性 | 0.015nm |
| 透明膜測(cè)量范圍 | 0 – 5μm | 樣品尺寸 | 最大200mm直徑，20mm厚度 |
| 裝樣方式 | 手動(dòng)放置，手動(dòng)高度調(diào)節(jié) | 樣品偏轉(zhuǎn)范圍 | ±2° |
| 占地面積 | 180 × 400 mm | 重量 | 5kg |
| 光源尺寸 | 125 × 80 × 60 mm | 探測(cè)器尺寸 | 110 × 80 × 60 mm |
| 連接方式 | 12V電源、以太網(wǎng)、光源-探測(cè)器鏈接電纜 | 電動(dòng)光源偏振器 | 支持自動(dòng)校準(zhǔn)和區(qū)域平均測(cè)量 |
| 軟件界面 | 網(wǎng)頁(yè)瀏覽器界面（Windows/Mac OS/平板） | 分析功能 | Model Builder自動(dòng)建模、多樣本分析、色散模型 |
| 可選配件 | 聚焦光束（光斑0.8×1.9mm或0.25×0.55mm）、液體樣品池、原位真空法蘭適配器、自動(dòng)Mapping樣品臺(tái)（FS-RT300）、FS-API外部軟件控制接口 |
| 更多參數(shù)及定制配置請(qǐng)聯(lián)系我們獲取 |
實(shí)機(jī)展示
客戶評(píng)價(jià)
“我們實(shí)驗(yàn)室購(gòu)買了四臺(tái)FilmSense橢偏儀——三臺(tái)FS-1和一臺(tái)帶RT300 Mapping樣品臺(tái)的FS-1EX。FilmSense的軟件是我使用過(guò)所有橢偏儀中最直觀、最容易上手的。多樣本分析功能只需測(cè)量少量不同厚度的樣品就能確定新材料的光學(xué)常數(shù)，整個(gè)過(guò)程只需幾分鐘。RT300的樣品高度自動(dòng)調(diào)節(jié)功能也非常出色，大大減少了人工對(duì)焦的時(shí)間。”
——大型半導(dǎo)體OEM 系統(tǒng)工程部
“FS-1是一臺(tái)優(yōu)秀的基礎(chǔ)型橢偏儀，可靠、易用、幾乎不需要維護(hù)，性價(jià)比極高。FilmSense團(tuán)隊(duì)在幫助我們表征薄膜和獲得準(zhǔn)確測(cè)量結(jié)果方面提供了很大的幫助，強(qiáng)烈推薦給需要入門級(jí)橢偏儀的實(shí)驗(yàn)室?！?/span>
——Dr. Ruy Sebastian Bonilla, 牛津大學(xué)材料系研究員
“FS-8橢偏儀運(yùn)行良好，使用人數(shù)持續(xù)增長(zhǎng)。我在培訓(xùn)新用戶使用ALD沉積系統(tǒng)時(shí)都會(huì)推薦他們使用這臺(tái)設(shè)備。測(cè)量結(jié)果準(zhǔn)確可靠，技術(shù)支持響應(yīng)快速且專業(yè)。Model Builder功能對(duì)新用戶尤其友好，大大降低了橢偏數(shù)據(jù)分析的學(xué)習(xí)門檻?！?/span>
——Tony Whipple, 明尼蘇達(dá)納米中心 研究員
常見(jiàn)問(wèn)題 (FAQ)
FS-8橢偏儀和Filmetrics膜厚儀有什么區(qū)別？
兩者采用完全不同的光學(xué)測(cè)量原理：Filmetrics膜厚儀（如F20）基于光譜反射法，通過(guò)分析薄膜反射的干涉光譜強(qiáng)度來(lái)測(cè)量厚度，操作簡(jiǎn)便、測(cè)量范圍寬（nm-mm）；FS-8橢偏儀基于橢圓偏振法，通過(guò)分析偏振光反射前后的偏振態(tài)變化（振幅比Ψ和相位差Δ）來(lái)同時(shí)測(cè)量厚度和光學(xué)常數(shù)（n&k），對(duì)超薄膜的敏感度遠(yuǎn)高于反射法，膜厚精密度可達(dá)0.0004nm（亞單原子層級(jí)），并能直接測(cè)定材料的折射率和消光系數(shù)。通俗地說(shuō)，反射儀像“卡片相機(jī)”——操作簡(jiǎn)便快捷；橢偏儀像“專業(yè)單反”——數(shù)據(jù)更豐富精細(xì)，但需要建立光學(xué)模型。
FS-8的8個(gè)波長(zhǎng)分別有什么作用？
不同波長(zhǎng)針對(duì)不同的測(cè)量需求：370nm紫外波長(zhǎng)對(duì)厚度<10nm的超薄膜提供增強(qiáng)的測(cè)量靈敏度；450-660nm可見(jiàn)光波段覆蓋大多數(shù)常規(guī)透明薄膜測(cè)量；735nm、850nm和950nm三個(gè)長(zhǎng)波長(zhǎng)用于測(cè)量更厚的透明膜（最高5μm）和吸收性半導(dǎo)體膜（如多晶硅、SiGe、非晶硅），同時(shí)支持Drude模型進(jìn)行薄膜電阻率測(cè)量。8個(gè)波長(zhǎng)的完整組合使FS-8成為一款全能的橢偏膜厚測(cè)量設(shè)備，覆蓋從亞納米超薄膜到微米級(jí)厚膜的各種測(cè)量需求。
FS-8可以測(cè)量哪些類型的薄膜？
FS-8可測(cè)量大多數(shù)透明薄膜（0-5μm），包括SiO?、SiNx、光刻膠、聚合物、ITO透明導(dǎo)電膜等；對(duì)于吸收性薄膜（如金屬膜、多晶硅），厚度上限通常為50nm。FS-8還可進(jìn)行多層膜堆疊測(cè)量（多達(dá)5層），并能表征薄膜表面粗糙度和折射率梯度。具體樣品適用性可通過(guò)軟件模擬來(lái)確認(rèn)，也可聯(lián)系我們的應(yīng)用工程師進(jìn)行評(píng)估。
FS-8可以在真空腔體內(nèi)進(jìn)行原位測(cè)量嗎？
可以，這是FS-8的核心功能之一。FS-8提供標(biāo)準(zhǔn)2.75英寸和1.33英寸真空法蘭適配器，可將光源和探測(cè)器單元安裝到MBE、MOCVD、ALD、磁控濺射等薄膜沉積設(shè)備的真空腔體上，實(shí)時(shí)原位監(jiān)測(cè)薄膜沉積速率、光學(xué)常數(shù)（n&k值）和膜厚變化。FS-API接口支持LabVIEW等外部軟件控制，實(shí)現(xiàn)薄膜沉積過(guò)程的在線橢偏監(jiān)測(cè)和終點(diǎn)控制。
FS-8的Model Builder功能是什么？
Model Builder（模型建立器）是FS-8軟件中一項(xiàng)革命性的自動(dòng)化建模功能。橢偏數(shù)據(jù)分析通常需要建立物理模型進(jìn)行擬合，這對(duì)初學(xué)者來(lái)說(shuō)有一定門檻。Model Builder通過(guò)引導(dǎo)用戶回答幾個(gè)關(guān)于樣品名義結(jié)構(gòu)的簡(jiǎn)單問(wèn)題，自動(dòng)建立并測(cè)試多個(gè)模型——從具有理想光學(xué)常數(shù)的簡(jiǎn)單模型到包含表面粗糙度和折射率梯度的非理想模型——最終推薦最適合樣品的最佳擬合模型。
FS-8和FS-4如何選擇？
FS-4是第四代經(jīng)濟(jì)型4波長(zhǎng)橢偏儀（450-660nm），適合0-2μm透明單層薄膜測(cè)量，精密度低至0.0004nm。FS-8是第四代高精度8波長(zhǎng)橢偏儀（370-950nm），除具備FS-4的所有功能外，增加了紫外波長(zhǎng)（370nm）用于超薄膜增強(qiáng)測(cè)量，以及三個(gè)長(zhǎng)波長(zhǎng)（735/850/950nm）用于厚膜和吸收性半導(dǎo)體膜測(cè)量。如果應(yīng)用以單層透明膜為主，F(xiàn)S-4已足夠；如果涉及超薄膜、吸收膜或多層膜，建議選擇FS-8。
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