Filmetrics F54 高分辨率自動(dòng)薄膜測量系統(tǒng) | 全自動(dòng)Mapping膜厚儀

Filmetrics F54 高分辨率自動(dòng)薄膜測量系統(tǒng)

全自動(dòng)Mapping膜厚儀 | 一鍵式薄膜厚度面形貌分析 | 可編程自動(dòng)樣品臺(tái)

4nm~120μm

厚度測量范圍

2μm

最小光斑尺寸

0.02nm

測量精度

450mm

最大樣品直徑

2點(diǎn)/秒

測繪速度

產(chǎn)品介紹

Filmetrics F54 是一款高分辨率自動(dòng)薄膜測量系統(tǒng)，采用光譜反射法（白光干涉技術(shù)），非接觸式測量薄膜厚度、折射率、反射率和表面粗糙度。五種配置覆蓋4nm至120μm膜厚測量范圍，波長范圍190–1700nm，最小光斑尺寸可達(dá)2μm，測量精度達(dá)0.02nm。

配置電動(dòng)R-Theta（極坐標(biāo)）或XY自動(dòng)載物臺(tái)，按預(yù)設(shè)圖案自動(dòng)移動(dòng)定位，最快每秒測量2個(gè)點(diǎn)位，支持直徑達(dá)450mm的大尺寸樣品。內(nèi)建數(shù)十種極坐標(biāo)、矩形、線性測繪模式，用戶可自定義測量點(diǎn)，2D/3D膜厚分布圖實(shí)時(shí)呈現(xiàn)。內(nèi)置500+種材料庫與高級建模算法，涵蓋從納米級超薄膜至百微米厚膜的全場景需求。

行業(yè)標(biāo)桿

Filmetrics F54 廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓制造、化合物半導(dǎo)體、LCD/OLED顯示、光學(xué)涂層、MEMS、太陽能電池等領(lǐng)域，是薄膜厚度均勻性分析的理想工具。

核心優(yōu)勢

全自動(dòng)Mapping

電動(dòng)R-Theta或XY載物臺(tái)，按預(yù)設(shè)圖案自動(dòng)定位，最快2點(diǎn)/秒，支持450mm大尺寸樣品。

靈活測繪模式

內(nèi)建數(shù)十種同心圓、矩形、線性模式，用戶可自定義無限數(shù)量測量點(diǎn)，數(shù)分鐘完成配方建立。

2D/3D可視化

實(shí)時(shí)生成膜厚分布圖，多種視角檢視均勻性，支持?jǐn)?shù)據(jù)導(dǎo)出與對比分析。

寬范圍高精度

4nm~120μm厚度范圍，精度0.02nm，五種配置滿足從超薄到厚膜的全場景需求。

豐富材料庫

內(nèi)置500+種材料庫，支持高級建模與自定義色散，精準(zhǔn)擬合多層膜結(jié)構(gòu)。

典型應(yīng)用領(lǐng)域

半導(dǎo)體晶圓

光刻膠

介電層/氧化物

化合物半導(dǎo)體

OLED顯示

ITO/TCO導(dǎo)電膜

LCD液晶間隙

MEMS微機(jī)電

光學(xué)涂層/AR膜

太陽能電池

派瑞林涂層

生物醫(yī)學(xué)涂層

PVD/CVD薄膜

防水涂層

陽極氧化膜

測量原理

光譜反射法：白光照射樣品，薄膜上下界面反射光發(fā)生干涉，形成特征光譜。通過分析光譜的振蕩頻率，可精確計(jì)算膜層厚度（振蕩越密集厚度越大），同時(shí)獲得折射率(n)、消光系數(shù)(k)和反射率等光學(xué)常數(shù)。F54配備高精度光譜儀和自動(dòng)載物臺(tái)，實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)多點(diǎn)Mapping測量，快速生成厚度均勻性分布圖。

產(chǎn)品參數(shù)

型號	F54 (五種配置可選)	品牌	Filmetrics (KLA)
測量技術(shù)	光譜反射法	測量方式	非接觸式 / 自動(dòng)Mapping
波長范圍	190nm – 1700nm	光源	鎢鹵素?zé)?/ 氘燈
厚度范圍	4nm – 120μm（依配置）	最小光斑	2μm（高倍物鏡）
測量精度	0.02nm	準(zhǔn)確度	1nm 或 0.2% 取較大者
穩(wěn)定性	0.05nm	樣品臺(tái)類型	R-Theta（極坐標(biāo)）/ XY自動(dòng)載物臺(tái)
最大樣品尺寸	450mm直徑	測繪速度	最快2點(diǎn)/秒
測繪模式	同心圓、矩形、線性、自定義點(diǎn)陣
軟件功能	FILMeasure、2D/3D膜厚分布圖、130+材料庫、多層建模、數(shù)據(jù)導(dǎo)出
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