KLA P-7 探針式臺(tái)階儀 | 亞埃級(jí)分辨率探針式表面輪廓儀

高精度接觸式臺(tái)階測(cè)量系統(tǒng)——納米至毫米級(jí)臺(tái)階高度、粗糙度、翹曲度及薄膜應(yīng)力一站式表征

1nm ~ 1000μm 臺(tái)階高度測(cè)量范圍	0.01? 垂直分辨率 (亞埃級(jí))	0.03~50mg 微力恒定力控制	150mm 全直徑掃描 (無(wú)需拼接)

產(chǎn)品介紹

KLA P-7 探針式臺(tái)階儀（表面輪廓儀） 是KLA公司基于暢銷平臺(tái)P-17技術(shù)推出的高性價(jià)比臺(tái)式探針輪廓分析系統(tǒng)。采用金剛石探針接觸式掃描原理，集成了LVDC傳感器技術(shù)，實(shí)現(xiàn)從納米級(jí)至1mm的臺(tái)階高度、表面粗糙度、翹曲度及薄膜應(yīng)力的精準(zhǔn)測(cè)量。垂直方向亞埃級(jí)分辨率（0.01?），恒定力控制范圍0.03~50mg，掃描范圍達(dá)150mm無(wú)需圖像拼接。KLA P-7 探針式表面輪廓儀廣泛適用于半導(dǎo)體晶圓、化合物半導(dǎo)體、MEMS、LED、太陽(yáng)能電池、精密光學(xué)、柔性電子及汽車電子等行業(yè)，滿足研發(fā)實(shí)驗(yàn)室到全自動(dòng)產(chǎn)線的多樣化表面形貌表征需求。優(yōu)尼康科技提供專業(yè)技術(shù)支持與樣機(jī)演示服務(wù)。

行業(yè)標(biāo)桿信賴之選

KLA 探針式輪廓儀 擁有超30年的技術(shù)沉淀，全球數(shù)千家半導(dǎo)體及光電企業(yè)使用KLA臺(tái)階儀作為膜厚/形貌測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)。P-7 系列傳承KLA高精度測(cè)量性能，重復(fù)性達(dá)4? (0.10%)，在化合物半導(dǎo)體、先進(jìn)封裝、MEMS等領(lǐng)域備受認(rèn)可。結(jié)合強(qiáng)大的Apex分析軟件及自動(dòng)化選項(xiàng)，為產(chǎn)線及研發(fā)提供可靠數(shù)據(jù)保障。

產(chǎn)品特點(diǎn)

【亞埃級(jí)分辨率 & 寬量程】 垂直分辨率高達(dá)0.01?，臺(tái)階高度測(cè)量范圍覆蓋幾納米至1000μm，可精確表征原子層沉積、光刻膠臺(tái)階、蝕刻深度及厚膜臺(tái)階。
【恒定微力控制技術(shù)】 動(dòng)態(tài)力控制0.03~50mg，極低針壓可保護(hù)軟質(zhì)材料（光刻膠、柔性薄膜、OLED材料），同時(shí)保證硬質(zhì)材料測(cè)量重復(fù)性。
【大行程無(wú)損拼接】 150mm全直徑掃描能力，無(wú)需圖像拼接即可完成6英寸及以下樣品全域表征，支持2D/3D輪廓、粗糙度、應(yīng)力翹曲度分析。
【智能化自動(dòng)測(cè)量】 集成500萬(wàn)像素高清攝像機(jī)、模式識(shí)別和SECS/GEM功能，可自動(dòng)序列測(cè)量、數(shù)據(jù)批量處理，適配產(chǎn)線全自動(dòng)化需求。
【強(qiáng)大分析軟件 Apex】 提供調(diào)平、濾波、臺(tái)階高度、粗糙度(ISO/ASME)、應(yīng)力計(jì)算等擴(kuò)展算法，支持3D成像和自定義報(bào)告輸出。

測(cè)量原理

KLA P-7 探針式臺(tái)階儀采用 LVDC（線性可變差分電容）傳感器技術(shù)。探針與樣品表面物理接觸，傳感器感知探針隨表面形貌的垂直位移，電容變化轉(zhuǎn)換為高精度地形信號(hào)。LVDC設(shè)計(jì)具有質(zhì)量小、線性運(yùn)動(dòng)、低滯后和極低摩擦的優(yōu)點(diǎn)，結(jié)合閉環(huán)力反饋，確保在整個(gè)垂直量程內(nèi)保持恒定針壓，實(shí)現(xiàn)納米級(jí)至毫米級(jí)臺(tái)階的精確、穩(wěn)定測(cè)量。

主要應(yīng)用領(lǐng)域

半導(dǎo)體/化合物半導(dǎo)體光刻膠臺(tái)階、蝕刻深度、CMP平坦度	MEMS & 傳感器微結(jié)構(gòu)臺(tái)階高度、壓電薄膜、深硅刻蝕
LED & 光電子外延片翹曲、ITO透明電極臺(tái)階	太陽(yáng)能電池鈍化層臺(tái)階、電極柵線高度
柔性電子/薄膜聚合物薄膜厚度、PI膜翹曲	精密光學(xué) & 汽車電子光學(xué)鍍膜臺(tái)階、結(jié)構(gòu)件輪廓
薄膜應(yīng)力分析 2D/3D應(yīng)力分布、Stoney應(yīng)力計(jì)算	失效分析/缺陷表征表面劃痕深度、凸起形貌

產(chǎn)品參數(shù)

參數(shù)項(xiàng)	規(guī)格指標(biāo)
臺(tái)階高度范圍	幾納米 ~ 1000μm
垂直分辨率	0.01? (亞埃級(jí))
重復(fù)性 (1μm 標(biāo)準(zhǔn)臺(tái)階)	4? (0.10%)
恒定針壓力范圍	0.03 ~ 50mg
最大掃描長(zhǎng)度 (X軸)	150mm (無(wú)拼接)
水平分辨率 X	0.025μm / 數(shù)據(jù)點(diǎn)
攝像機(jī)系統(tǒng)	500萬(wàn)像素彩色高清，支持圖案識(shí)別
軟件功能	臺(tái)階高度、粗糙度、應(yīng)力分析(2D/3D)、3D成像、自動(dòng)序列、SECS/GEM

KLA 探針式輪廓儀系列選型指南

型號(hào)	臺(tái)階范圍	垂直分辨率	最大掃描長(zhǎng)度	典型適用場(chǎng)景
KLA P-7	1nm~1000μm	0.01?	150mm	研發(fā)/小量產(chǎn)，6英寸及以下晶圓
KLA P-17	亞納米~1mm	0.01?	200mm	高性能科研/8英寸兼容
KLA P-170	亞納米~1mm	0.01?	300mm	全自動(dòng)產(chǎn)線/12英寸晶圓

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實(shí)測(cè)數(shù)據(jù)展示

典型半導(dǎo)體晶圓上的臺(tái)階高度掃描曲線及3D表面形貌成像

客戶評(píng)價(jià)

“KLA P-7 探針式臺(tái)階儀解決了我們之前臺(tái)階儀針壓不穩(wěn)定的痛點(diǎn)，0.03mg微力下即使測(cè)量極軟光刻膠也沒(méi)有劃痕，重復(fù)性極佳。150mm全尺寸掃描無(wú)需拼接，對(duì)我們6英寸化合物半導(dǎo)體晶圓翹曲監(jiān)控效率提升明顯。”

—— 某IDM半導(dǎo)體廠工藝整合經(jīng)理

“從P-7的性價(jià)比來(lái)看，在同級(jí)別臺(tái)階儀中非常有優(yōu)勢(shì)。不僅是臺(tái)階高度，粗糙度和應(yīng)力分析的功能非常全面，加上優(yōu)尼康提供的本地技術(shù)支持，安裝培訓(xùn)僅半天就上手?！?/p>

—— 知名MEMS傳感器企業(yè) 研發(fā)總監(jiān)

常見問(wèn)題 (FAQ)

KLA P-7 探針式臺(tái)階儀的測(cè)量精度能達(dá)到多少？會(huì)不會(huì)損傷樣品？

垂直分辨率0.01?，重復(fù)性4?。恒定微力最低0.03mg，對(duì)光刻膠、軟金屬等無(wú)損傷，可安全測(cè)量脆軟材料。

P-7 能否進(jìn)行薄膜應(yīng)力測(cè)量以及2D/3D應(yīng)力分布計(jì)算？

可以。配合應(yīng)力卡盤測(cè)量翹曲度變化，內(nèi)置Stoney方程，支持2D線掃描和3D多點(diǎn)應(yīng)力云圖分析。

P-7 是否適合全自動(dòng)產(chǎn)線應(yīng)用？自動(dòng)化能力如何？

支持全自動(dòng)配置：模式識(shí)別、Recipe序列和SECS/GEM協(xié)議，適合FAB及無(wú)人值守車間。

KLA P-7 可以測(cè)量最大樣品尺寸和異形樣品嗎？

最大掃描150mm，兼容6英寸及以下圓形/方形樣品，異形件可用定制夾具。