Filmetrics F54膜厚儀創(chuàng)新融合顯微測量與自動化技術(shù)，兼具微米級小光斑高分辨率與全自動掃描能力。該系統(tǒng)支持微小區(qū)域的精準定位與自動Mapping測量，適用于半導(dǎo)體微結(jié)構(gòu)、MEMS器件及研發(fā)領(lǐng)域的高精度膜厚分析，實現(xiàn)從單點至區(qū)域的全面薄膜表征。
Filmetrics F54 高分辨率自動薄膜測量系統(tǒng)能以一個電動R-Theta平臺自動移動到選定的測量點以每秒測繪兩個點的速度快速的測繪薄膜厚度, 樣品直徑達450毫米，可選擇數(shù)十種內(nèi)建之同心圓,矩形,或線性圖案模式,或自行建立無數(shù)量限制之測量點.只需具備基本電腦技能，就可在數(shù)分鐘內(nèi)自行建立配方。
自動化薄膜厚度繪圖系統(tǒng)，快速定位、實時獲得結(jié)果；
可測樣品膜層：基本上光滑的。非金屬的薄膜都可以測量；
測繪結(jié)果可用2D或3D呈現(xiàn)，方便用戶從不同的角度檢視；
當入射光穿透不同物質(zhì)的界面時將會有部分的光被反射，由于光的波動性導(dǎo)致從多個界面的反射光彼此干涉，從而使反射光的多波長光譜產(chǎn)生震蕩的現(xiàn)象。從光譜的震蕩頻率，可以判斷不同界面的距離進而得到材料的厚度（越多的震蕩代表越大的厚度），同時也能得到其他的材料特性如折射率與粗糙度。
顯示技術(shù) | 消費電子 | 派瑞林 | |
光刻膠 | OLED | 防水涂層 | 電子產(chǎn)品/電路板 |
介電層 | ITO和TCOs | 射頻識別 | 磁性材料 |
砷化鎵 | 空氣盒厚 | 太陽能電池 | 醫(yī)學(xué)器械 |
微機電系統(tǒng) | PVD和CVD | 鋁制外殼陽極膜 | 硅橡膠 |
波長范圍： | 190nm-1700nm | 光源： | 鎢鹵素?zé)?、氘?/span> |
光斑大小： | 標準1.5毫米 | 測量精度2： | 0.02nm |
準確度*：取較大者 | 1nm或0.2% | 穩(wěn)定性3： | 0.05nm |
5X物鏡厚度范圍： | 20nm-120μm | ||
更多參數(shù)可聯(lián)系我們獲取 | |||
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