Nanosurf AFSEM 真空環(huán)境用原子力顯微鏡
優(yōu)尼康科技提供的Nanosurf AFSEM真空環(huán)境用原子力顯微鏡，由GETec與Nanosurf聯(lián)合開發(fā)，可直接集成于掃描電子顯微鏡（SEM）腔體內，實現(xiàn)AFM與SEM的聯(lián)合分析。XY掃描范圍90μm×90μm，Z向掃描范圍10μm，垂直方向噪音基底<30pm RMS，可構造真實的三維表面形貌并精確測量高度信息、距離信息及材料屬性。系統(tǒng)采用自感應探針技術，電子柱與樣品間僅需4.5mm空間，兼容大多數(shù)SEM或雙光束系統(tǒng)（SEM/FIB），不影響SEM正常操作?？膳cFIB、EDX、納米壓痕臺等聯(lián)用。適用于半導體封裝、集成電路失效分析、鋰電池電極材料表征、生物醫(yī)藥、汽車零部件、材料科學及高?？蒲械阮I域。優(yōu)尼康科技提供專業(yè)技術支持。
Nanosurf AFSEM 真空環(huán)境用原子力顯微鏡產品介紹：
Nanosurf AFSEM 真空環(huán)境用原子力顯微鏡由GETec與Nanosurf提供,讓您能輕松地聯(lián)合兩種功能強大的分析工具，原子力顯微鏡(AFM)與掃描電子顯微鏡(SEM)，構造真實的三維表面形貌，精確地測量高度信息、距離信息甚至材料屬性，但同時保持了在SEM的大范圍視場里定位AFSEM懸臂梁到您想要測量的準確位置上。進而大大地擴展了您的相關顯微鏡測量與分析的可行性。
Nanosurf AFSEM 真空環(huán)境用原子力顯微鏡產品特點：
Nanosurf AFSEM 真空環(huán)境用原子力顯微鏡產品優(yōu)勢：
實時在您的電鏡中進行AFM分析
原子力顯微鏡(AFM)與掃描電子顯微鏡(SEM)的互為補充可以對您的樣品進行獨特的表征成為可能。AFSEM可以讓您同時對您的樣品進行高分辨成像，構造真實的三維表面形貌，精確地測量高度信息、距離信息甚至材料屬性,但同時保持了在SEM的大范圍視場里定位AFSEM懸臂梁到您想要測量的準確位置上。優(yōu)化的AFSEM工作流(不影響SEM正常運行)確保了高效的操作,而強大的控制軟件可以實現(xiàn)智能化的測量、系統(tǒng)操作與數(shù)據(jù)分析。
SEM-AFM相關性分析
對于產品或材料分析,我們總是期望利用多種技術來進行樣品分析，而且尋求參數(shù)之間的相關性,而像原子力顯微鏡(AFM)與掃描電鏡(SEM)這類成像技術，我們就希望在同一個準確的位置進行分析!
同步于AFM與SEM的多種其他分析技術工具
因為AFSEM設計保持了全部的SEM功能性，它就可以聯(lián)合其他的一些標準的SEM分析技術如FIB，FEBID與EDX等，樣品無需掃描，而且相對重的或定制的樣品臺，比如張力牽拉臺、納米壓痕臺等，都可以輕松地聯(lián)合在AFSEM中。
兼容于大多數(shù)電鏡而不影響SEM正常操作
AFSEM適配于大多數(shù)SEM或雙光束系統(tǒng)(SEM/FIB):它直接地安裝在系統(tǒng)腔室的門上,而不改變樣品臺自身。而且狹小的針尖掃描設計配合了自感應探針系統(tǒng)在電子柱的尖端與樣品之間只需要4.5 mm空間即可。所以AFSEM能兼容于大部分標準的與可選的樣品臺，而且?guī)缀蹩梢蕴幚砟芊胚M系統(tǒng)腔室的任何一個樣品。這種設計可以在電鏡中實現(xiàn)亞納米級別臺階高度的測量.
操作簡便而直觀
AFSEM提供了操作的靈活性與智能化定位,三軸粗定位臺移動探針進入或者離開SEM的視場中的位置并定位探針到感興趣的位置,SEM樣品臺橫向移動樣品為方便AFSEM與SEM測量:垂直方向上,AFM與可以與樣品一起移動,可以讓您安全地安全地上下移動樣品而不會撞壞AFM探針。通過一個訂制的適配板與電路密封件可以在SEM里實現(xiàn)AFSEM的安裝,AFSEM可以通過僅僅四個螺絲就可以安裝或拆下下來,整個過程可以不到五分鐘，可以快速與方便的集成或從系統(tǒng)中移除。探針都預安裝在一個標準的接口上，可以快速實現(xiàn)探針更換,因此大大節(jié)省了系統(tǒng)的down機時間。因為自感應探針技術與完全自動化探針定位調整,AFSEM系統(tǒng)馬上就可以開始進行操作.
Nanosurf AFSEM 真空環(huán)境用原子力顯微鏡部件與附件：
Nanosurf AFSEM 真空環(huán)境用原子力顯微鏡常見測量模式：
靜態(tài)力成像 | 動態(tài)力成像 | 相位成像 |
導電力原子力顯微鏡（C-AFM） | 力譜測量 | 力調制成像 |
Nanosurf AFSEM 真空環(huán)境用原子力顯微鏡圖：
