Filmetrics F54-XYT-300 自動測量光學(xué)膜厚儀
優(yōu)尼康科技提供的Filmetrics F54-XYT-300自動光學(xué)膜厚測量測繪儀，在F54-XY-200的基礎(chǔ)上增加高性能旋轉(zhuǎn)樣品臺（R-Theta），專為300mm大尺寸晶圓的全自動膜厚測繪而設(shè)計。采用光譜反射技術(shù)，測量帶圖案及無圖案樣品，五種配置覆蓋膜厚4nm至120μm，光斑尺寸2μm至100μm，波長范圍190-1700nm。電動XY工作臺結(jié)合高性能旋轉(zhuǎn)臺，自動移動到預(yù)選測量點，測量速度最高每秒2點，精度1nm或0.2%，重復(fù)性0.02nm，穩(wěn)定性0.05nm。配備集成式顯微鏡和實時攝像頭，支持圖案表面顯微測量，適用于較粗糙材料。內(nèi)置數(shù)十種極坐標(biāo)、矩形、線性測繪圖案，支持自定義無限制測量點陣，F(xiàn)ILMapper軟件進(jìn)一步提升測量自動化水平。適用于300mm半導(dǎo)體晶圓制造、化合物半導(dǎo)體、LCD/OLED顯示、光學(xué)涂層、MEMS微機(jī)電系統(tǒng)、生物醫(yī)學(xué)薄膜、光伏太陽能等行業(yè)的大尺寸晶圓全自動膜厚均勻性檢測。優(yōu)尼康科技提供專業(yè)技術(shù)支持。
Filmetrics F54-XYT-300 自動測量光學(xué)膜厚儀產(chǎn)品介紹：
Filmetrics F54-XYT-300 自動測量光學(xué)膜厚儀借助F54-XYT-300的光譜反射系統(tǒng)，可以快速輕松地測量200 x 200mm樣品的薄膜厚度。電動XY工作臺自動移動到選定的測量點并提供快速的厚度測量，速度達(dá)到每秒兩點。
Filmetrics F54-XYT-300 自動測量光學(xué)膜厚儀產(chǎn)品特點優(yōu)勢：
自動化薄膜厚度繪圖系統(tǒng)，快速定位、實時獲得結(jié)果；
可測樣品膜層：基本上光滑的。非金屬的薄膜都可以測量；
測繪結(jié)果可用2D或3D呈現(xiàn)，方便用戶從不同的角度檢視；
Filmetrics F54-XYT-300 自動測量光學(xué)膜厚儀測量原理：
當(dāng)入射光穿透不同物質(zhì)的界面時將會有部分的光被反射，由于光的波動性導(dǎo)致從多個界面的反射光彼此干涉，從而使反射光的多波長光譜產(chǎn)生震蕩的現(xiàn)象。從光譜的震蕩頻率，可以判斷不同界面的距離進(jìn)而得到材料的厚度（越多的震蕩代表越大的厚度），同時也能得到其他的材料特性如折射率與粗糙度。
Filmetrics F54-XYT-300 自動測量光學(xué)膜厚儀產(chǎn)品應(yīng)用與膜層范例：
半導(dǎo)體膜層 | 顯示技術(shù) | 消費電子 | 派瑞林 |
光刻膠 | OLED | 防水涂層 | 電子產(chǎn)品/電路板 |
介電層 | ITO和TCOs | 射頻識別 | 磁性材料 |
砷化鎵 | 空氣盒厚 | 太陽能電池 | 醫(yī)學(xué)器械 |
微機(jī)電系統(tǒng) | PVD和CVD | 鋁制外殼陽極膜 | 硅橡膠 |
Filmetrics F54-XYT-300 自動測量光學(xué)膜厚儀產(chǎn)品常見工業(yè)應(yīng)用：
半導(dǎo)體制造 | LCD液晶顯示器 | 光學(xué)鍍層 | MEMS微機(jī)電系統(tǒng) |
光刻膠 | 聚酰亞胺 | 硬涂層 | 光刻膠 |
氧化物/氮化物/SOI | ITO透明導(dǎo)電膜 | 抗反射涂層 | 硅系膜層 |
晶圓背面研磨 |
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Filmetrics F54-XYT-300 自動測量光學(xué)膜厚儀產(chǎn)品參數(shù)：
波長范圍： | 190nm-1700nm | 光源： | 鎢鹵素?zé)?、氘?/span> |
測量nk厚度要求1*： | 50nm | 測量精度2： | 0.02nm |
準(zhǔn)確度*：取較大者 | 1nm或0.2% | 穩(wěn)定性3： | 0.05nm |
樣品大?。?/span> | ≤直徑300毫米 | 速度（含有真空平臺）： | 5個點-8秒 25個點-21秒 56個點-43秒 |
光斑大小 | 標(biāo)準(zhǔn)500 微米孔徑 | 選配250 微米孔徑 | 選配100 微米孔徑 |
5X物鏡 | 100μm | 50μm | 20μm |
10X物鏡 | 50μm | 25μm | 10μm |
15X物鏡 | 33μm | 17μm | 7μm |
50X物鏡 | 10μm | 5μm | 2μm |
Filmetrics F54-XYT-300 自動測量光學(xué)膜厚儀測量圖：
