HERZ AVI-600系列 主動(dòng)式防震系統(tǒng)
優(yōu)尼康科技提供的HERZ AVI-600系列主動(dòng)式減振臺(tái)，采用“主動(dòng)+被動(dòng)”雙模式隔振技術(shù)，主動(dòng)隔振范圍0.5–200Hz，被動(dòng)隔振范圍>200Hz，可隔離六個(gè)空間方向的振動(dòng)干擾。系統(tǒng)內(nèi)置壓電加速度傳感器與壓電換能器，實(shí)時(shí)探測(cè)傳入振動(dòng)并生成反向補(bǔ)償力，5–20毫秒內(nèi)完成響應(yīng)，10Hz以上傳輸率低于0.017（-35dB），無低頻共振、無需氣壓支持。模塊化設(shè)計(jì)支持自由擴(kuò)展，單個(gè)隔振模塊承重600kg，負(fù)載范圍0–1200kg，通過增加隔振模塊數(shù)量可將承重提升至5400kg，系統(tǒng)尺寸和配置均可按需定制。AVI-600提供M（720×288×112.5mm）、S（396×288×112.5mm）、XL等不同規(guī)格隔振模塊，適配各類大型精密儀器。適用于掃描電鏡（SEM）、透射電鏡（TEM）、超高真空掃描探針顯微鏡（UHV-SPM）、光刻設(shè)備、高精度計(jì)量工具、大型干涉儀、輪廓儀、光譜儀器及大型半導(dǎo)體設(shè)備等。優(yōu)尼康科技提供專業(yè)技術(shù)支持與現(xiàn)場(chǎng)安裝服務(wù)。
產(chǎn)品詳情
| 型號(hào) | 隔振模塊尺寸（每個(gè)模塊） | 載重（每個(gè)模塊） | 負(fù)載范圍 |
| AVI-600M | 長(zhǎng)x寬x高：720x288x112.5mm | 0-600kg | 0-1200kg |
| AVI-600S | 長(zhǎng)x寬x高：396x288x112.5mm | 0-600kg | 0-1200kg |
HERZ AVI-600 work station 主動(dòng)隔振臺(tái)
HERZ AVI-600 為緊湊型的主動(dòng)隔振系統(tǒng)，是納米技術(shù)大型儀器隔振的解決方案。對(duì)升級(jí)和整合到現(xiàn)有的需要低頻隔振功能的設(shè)備來說是不錯(cuò)的選擇，HERZ AVI-600 work station可自由選擇整個(gè)系統(tǒng)的尺寸大小和配置，通過增加隔振模塊的數(shù)量可以增加系統(tǒng)的承重（承重可至9000磅）。
工作原理
AVI系列主動(dòng)隔振臺(tái)采用特殊隔振技術(shù)，適用于任何科研環(huán)境下，該隔振模塊可以隔離6個(gè)空間方向的振動(dòng)（包括水平方向和豎直方向），AVI系列主動(dòng)隔振臺(tái)利用控制器內(nèi)的壓電加速傳感器將外界振動(dòng)的壓力信號(hào)轉(zhuǎn)換為電信號(hào)發(fā)送至隔離模塊中的壓電換能器中，隨后壓電換能器將產(chǎn)生一個(gè)與傳入壓力大小相等，方向相反的壓力信號(hào)來消除傳入振動(dòng)。隔振系統(tǒng)利用一個(gè)反饋回路消除隔振系統(tǒng)的機(jī)械共振。
產(chǎn)品特點(diǎn)
主動(dòng)隔振頻率 1Hz - 200Hz
被動(dòng)隔振頻率>200Hz
5-20ms的響應(yīng)時(shí)間
安裝簡(jiǎn)單，容易使用
穩(wěn)定性高，能無故障連續(xù)使用多年
緊湊、模塊化的多功能設(shè)計(jì)
控制器帶數(shù)字LED顯示屏
產(chǎn)品應(yīng)用
| SEM | TEM | UHV-SPM | 光刻 |
| 隧道顯微鏡 | Fabry-Perot干涉儀 | 大型對(duì)振動(dòng)敏感的儀器設(shè)備 | 更多.. |
性能優(yōu)勢(shì)
技術(shù)參數(shù) |
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| 隔振范圍 | 主動(dòng):1-200Hz ;被動(dòng): >200Hz |
| 傳輸率 | 超過10Hz<0.017（ -35 dB） |
| 模塊尺寸 | W 11.3” x D 28.4” x H 4.5” (AVI-600) |
| 模塊重量 | 60 KG / 132 Lbs |
靜態(tài)柔度(每個(gè)模塊) |
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| 垂直方向 | 約 12 μm / N |
| 水平方向 | 約 6 μm / N |
| 系統(tǒng)噪聲 | 低于50nG/√Hz |
| 耗電量 | 通常情況下為27 W（標(biāo)配） |
| 輸入電壓 | 90 - 125 VAC / 200 - 250 VAC, 50 - 60 Hz |
| 控制器尺寸 | 48 x 13 x 25 cm / 19 x 5.1 x 9.8” |
| 性能監(jiān)控 | 通過在示波器上顯示的一個(gè)多重信號(hào)表示各傳感部位是否隔振 |
