HERZ UT-1000A主動(dòng)式減震系統(tǒng)

優(yōu)尼康科技提供的HERZ UT-1000A主動(dòng)式減振系統(tǒng),專(zhuān)為電子顯微鏡等大型研究?jī)x器設(shè)計(jì),采用壓電傳感器與壓電換能器技術(shù),主動(dòng)隔振范圍1–200Hz(搭配LFS低頻穩(wěn)定器可延伸至0.5Hz),被動(dòng)隔振≥200Hz,可隔離六個(gè)空間方向的振動(dòng)干擾。系統(tǒng)采用超薄模塊化設(shè)計(jì),無(wú)低頻共振、無(wú)需氣壓支持。四個(gè)減振模塊即可支撐重達(dá)3500kg的FEI Titan TEM等大型設(shè)備,安裝后基本不改變顯微鏡整體輪廓,無(wú)需專(zhuān)用起重設(shè)備,1小時(shí)內(nèi)即可完成安裝。支持為每臺(tái)電鏡做單一定制。適用于掃描電子顯微鏡(SEM)、透射電子顯微鏡(TEM)、超高真空掃描探針顯微鏡(UHV-SPM)、光刻設(shè)備、高精度計(jì)量設(shè)備及光譜測(cè)量設(shè)備等。優(yōu)尼康科技提供專(zhuān)業(yè)技術(shù)支持與現(xiàn)場(chǎng)安裝服務(wù)。
HERZ UT-1000A平臺(tái)為電子顯微鏡和類(lèi)似的大型研究?jī)x器提供的主動(dòng)隔振性能(從0.5Hz開(kāi)始)。HERZ UT-1000A平臺(tái)通過(guò)消除,干擾測(cè)量的破壞性低頻振動(dòng)噪聲,幫助用戶(hù)從顯微鏡中獲得更多信息。HERZ UT-1000A平臺(tái)采用了模塊化設(shè)計(jì),簡(jiǎn)化了安裝過(guò)程,從而在安裝時(shí)不需要為大多數(shù)儀器安裝專(zhuān)用的起重設(shè)備。
壓電傳感器與驅(qū)動(dòng)器
功能:
設(shè)計(jì)及維護(hù):
熱門(mén)應(yīng)用
Herz UT-1000A平臺(tái)廣泛的應(yīng)用于高負(fù)載顯微鏡和其他對(duì)低頻振動(dòng)噪聲敏感的精密型研究?jī)x器。Herz-UT-1000A平臺(tái)常見(jiàn)的應(yīng)用是電子顯微鏡,它支持掃描電子顯微鏡和透射電子顯微鏡。Herz UT-1000A平臺(tái)的扁平化模塊設(shè)計(jì)是有利的,因?yàn)樗?jiǎn)化了安裝過(guò)程,消除了持續(xù)維護(hù)的必要。
HERZ UT-1000A Supporting A FEI Titan TEM

由于HERZ UT-1000A平臺(tái)的模塊化設(shè)計(jì),重3500公斤的Titan可以由四個(gè)減震 模塊來(lái)支持。這幅圖像描繪了一個(gè)由HERZ UT-1000A平臺(tái)支持的FEI Titan TEM,它以前受到低頻振動(dòng)噪聲的干擾。
UT-1000A Supporting A FEI QEMSCAN 650 SEM

HERZ UT-1000A平臺(tái)通常對(duì)與掃描電子顯微鏡搭配,掃描電子顯微鏡有多種尺寸和形狀。HERZ UT-1000A平臺(tái)的優(yōu)點(diǎn)是,它們不需要專(zhuān)業(yè)的吊裝設(shè)備或索具系統(tǒng)進(jìn)行安裝,只需要SEMs內(nèi)部調(diào)平腳升高到足夠高(5英寸)就可以將防振模塊放置在下面。由上幅圖像可以看到,一 臺(tái)FEI QEMSCAN 650 SEM,被安裝在支撐SEM框架的UT-1000A平臺(tái)上。安裝后,SEM很快開(kāi)始從測(cè)量中獲得比之前更好的成像質(zhì)量。
UT-1000A Supporting A Carl Zeiss SIGMA VP SEM

Carl Zeiss scanning electron microscopes 常用的減震方案是搭配UT-1000A. 由于其設(shè)計(jì)一,內(nèi)部框架易于使用,UT-1000A平臺(tái)可以在一小時(shí)內(nèi)安裝,不需要吊裝設(shè)備。上圖顯示的是Carl Zeiss SIGMA VP 在與UT-1000A 平臺(tái)的搭配.

