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    Filmetrics F10-RT 薄膜厚度測量儀

    Filmetrics F10-RT薄膜厚度測量儀,專為真空鍍膜與光學(xué)鍍膜設(shè)計,同步測量反射率和透射率,1秒極速出結(jié)果。厚度測量范圍1nm~150μm,精度高達(dá)0.01nm,支持FWHM半高寬分析及顏色分析??蛇x厚度/折射率模塊,一鍵導(dǎo)出數(shù)據(jù)報告。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體膜厚檢測、顯示技術(shù)、光學(xué)鍍膜品質(zhì)管控、太陽能電池、消費(fèi)電子涂層等領(lǐng)域,是研發(fā)與產(chǎn)線品質(zhì)管控的得力工具。

    • 產(chǎn)品名稱 薄膜厚度測量儀
    • 品牌 Filmetrics
    • 產(chǎn)品型號 F10-RT
    • 產(chǎn)地 美國
    Filmetrics F10-RT 薄膜厚度測量儀 | 反射/透射同步測量 | 1秒出結(jié)果

    Filmetrics F10-RT 薄膜厚度測量儀

    同步測量反射率與透射率 | 1秒出結(jié)果 | 真空鍍膜專用 | 1nm~150μm寬量程


    Filmetrics F10-RT薄膜厚度測量儀

    1nm~150μm
    厚度測量范圍
    0.01nm
    測量精度
    <1秒
    單次測量時間
    6mm
    標(biāo)準(zhǔn)光斑
    190~1700nm
    波長范圍
    產(chǎn)品介紹

    Filmetrics F10-RT 薄膜厚度測量儀 以真空鍍膜為設(shè)計目標(biāo),只需單擊鼠標(biāo)即可獲得反射和透射光譜。簡單操作即可進(jìn)行 FWHM 及顏色分析??蛇x的厚度和折射率模塊讓您能夠充分利用 F10-RT 的分析能力,測量結(jié)果能被快速導(dǎo)出和打印。適用于光學(xué)鍍膜、半導(dǎo)體、顯示技術(shù)、消費(fèi)電子等行業(yè),是研發(fā)與產(chǎn)線品質(zhì)管控的得力工具。

    核心優(yōu)勢
    同步測量反射率與透射率 · 1秒內(nèi)快速獲取結(jié)果 · 完整標(biāo)準(zhǔn)配置 · 簡單易用的分析軟件 · 可選厚度/折射率模塊
    核心優(yōu)勢
    同步反射/透射測量

    同時獲取薄膜的反射率和透射率光譜,1秒內(nèi)完成測量,極大提升檢測效率。

    快速FWHM與顏色分析

    內(nèi)置分析工具,一鍵計算半高寬(FWHM)并進(jìn)行顏色分析,滿足光學(xué)鍍膜品質(zhì)判定需求。

    靈活擴(kuò)展

    可選厚度和折射率測量模塊,升級后即可獲得薄膜厚度、n/k值等完整光學(xué)參數(shù)。

    簡便操作與數(shù)據(jù)導(dǎo)出

    直觀的軟件界面,測量結(jié)果可快速導(dǎo)出至Excel或打印報告,便于數(shù)據(jù)追溯與分享。

    典型應(yīng)用領(lǐng)域
    光刻膠
    介電層
    砷化鎵
    微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)
    OLED
    ITO/TCO
    空氣盒厚
    PVD/CVD薄膜
    防水涂層
    射頻識別
    太陽能電池
    鋁制外殼陽極膜
    電子產(chǎn)品/電路板
    磁性材料
    醫(yī)療器械涂層
    硅橡膠
    派瑞林

    * 適用于透明、半透明及低吸收薄膜,覆蓋固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)薄膜形態(tài)

    測量原理

    當(dāng)入射光穿透不同物質(zhì)的界面時,部分光被反射。由于光的波動性,多個界面的反射光彼此干涉,使反射光的多波長光譜產(chǎn)生振蕩現(xiàn)象。從光譜的振蕩頻率,可以判斷不同界面的距離進(jìn)而得到材料的厚度(越多的震蕩代表越大的厚度),同時也能獲得折射率與粗糙度等材料特性。F10-RT采用寬波段光源,配合高精度光譜儀,實現(xiàn)反射率和透射率的同步快速測量。

    光譜反射法測量原理示意圖
    產(chǎn)品參數(shù)
    產(chǎn)品型號F10-RT品牌Filmetrics
    波長范圍190nm ~ 1700nm光源鎢鹵素?zé)?/ 氘燈
    厚度測量范圍1nm ~ 150μm測量精度0.01nm
    光斑大小6mm (標(biāo)準(zhǔn))穩(wěn)定性0.05nm
    測量功能反射率、透射率、FWHM、顏色分析、厚度(可選)、折射率(可選)
    軟件專用分析軟件,支持?jǐn)?shù)據(jù)導(dǎo)出與報告打印
    測量數(shù)據(jù)展示

    F10-RT測量界面及光譜圖

    典型反射/透射光譜及厚度擬合結(jié)果

    客戶評價

    “F10-RT的反射/透射同步測量功能讓我們在鍍膜工藝監(jiān)控中節(jié)省了一半時間。1秒出結(jié)果,配合顏色分析工具,極大方便了膜系品質(zhì)判定?!?/p>

    —— 光學(xué)鍍膜企業(yè) 工藝工程師

    “用于AR膜和濾光片的透射光譜測量,F(xiàn)10-RT操作簡單,數(shù)據(jù)重復(fù)性很好??蛇x的厚度模塊使我們能同時獲得膜厚信息,一臺設(shè)備滿足多種需求?!?/p>

    —— 光通信器件廠商 研發(fā)中心
    常見問題
    F10-RT與F20系列的主要區(qū)別是什么?+

    F10-RT專為真空鍍膜和光學(xué)鍍膜設(shè)計,標(biāo)配反射率/透射率同步測量及顏色分析功能,光斑較大(6mm),適合均勻膜層快速檢測;F20系列更側(cè)重通用型膜厚測量,可選配更多波長范圍和顯微光斑。

    可以測量不透明基底上的薄膜嗎?+

    可以。F10-RT支持反射率測量模式,適用于不透明基底(如金屬、半導(dǎo)體)上的透明或半透明薄膜,同樣可獲得膜厚和光學(xué)常數(shù)。

    F10-RT的厚度測量范圍是多少?+

    基礎(chǔ)型號可測厚度范圍為1nm~150μm,覆蓋從超薄膜到較厚膜層,滿足大多數(shù)光學(xué)鍍膜和半導(dǎo)體膜層的檢測需求。

    需要額外購買厚度測量模塊嗎?+

    標(biāo)準(zhǔn)F10-RT主要提供光譜測量和顏色分析,厚度和折射率測量為可選升級模塊。您可根據(jù)實際需求選擇是否添加,靈活控制預(yù)算。

    設(shè)備安裝和使用是否復(fù)雜?+

    非常簡便。僅需通過USB連接至Windows電腦,安裝配套軟件,幾分鐘內(nèi)即可開始測量。軟件界面直觀,操作員無需專業(yè)培訓(xùn)即可上手。

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    標(biāo)簽: KLA Filmetrics

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