UNICORN LS-800 主動式防震臺 | 電鏡專用主動隔振系統(tǒng)UNICORN LS-800 主動式防震臺
電子顯微鏡專用主動隔振系統(tǒng) | 0.5Hz超低頻隔振 | 六自由度主動控制 | 緊湊模塊化設計
UNICORN LS-800 主動式防震臺為電子顯微鏡和類似的大型研究儀器提供主動隔振性能(從0.5Hz開始)。通過抵消干擾測量的破壞性低頻振動噪聲,幫助用戶從顯微鏡中獲得更多信息。采用了超薄型和模塊化設計,簡化了安裝過程,從而在安裝時不需要專用的起重設備(適合絕大多數的SEM)。
產品特點
防震范圍0.5Hz - 200Hz 主動隔振,≥200Hz 被動隔振
六自由度隔離隔離來自六個自由度的振動,全方位抑制干擾
無低頻共振內部反饋回路阻尼諧振,消除傳統(tǒng)被動隔振臺的共振峰
壓電傳感驅動采用壓電傳感器與驅動器,實時響應,精準補償
緊湊模塊化設計超薄結構,安裝方便,無需長期維護
單一電鏡定制為每臺電鏡做專屬定制,安裝后基本不改變顯微鏡整體輪廓
測量原理
UNICORN LS-800主動式防震臺通過傳感器實時監(jiān)測外部振動信號,并將數據傳輸至控制器??刂破鞲鶕駝硬ㄐ紊煞聪蜃饔昧?,由執(zhí)行器施加與振動相位相反的力,實現動態(tài)抵消,大幅度抑制低頻振動及復雜環(huán)境干擾。結合被動隔振與主動控制技術,被動系統(tǒng)吸收高頻振動能量,主動系統(tǒng)針對低頻振動進行準確補償,實現全頻段隔振。采用6自由度控制,自適應調節(jié)地基振動前饋,抵消多方向振動傳遞。
行業(yè)應用
LS-800主動式防震臺廣泛的應用于高負載顯微鏡和其他對低頻振動噪聲敏感的精密型研究儀器。最常見的應用是電子顯微鏡,支持掃描電子顯微鏡(SEM)和透射電子顯微鏡(TEM)。扁平化模塊設計簡化了安裝過程,減少了持續(xù)維護的必要。
光刻設備光譜測量設備高精度計量設備TEMSEM超高真空掃描探針顯微鏡EBLSTM
產品參數
| 參數項 | 數值/描述 |
|---|
| 諧振頻率 | None (無主動諧振峰) |
| 隔振起點 | 0.5 Hz |
| 隔振率 @2.5Hz | 90% |
| 隔振率 @5Hz | 97% |
| 隔振率 @10Hz | 99% |
| 最大隔振率 | 99.8% @70Hz |
| 主動隔振范圍 | 0.5 - 200 Hz |
| 被動隔振范圍 | ≥ 200 Hz |
| 控制自由度 | 6自由度 (X/Y/Z/橫搖/縱搖/平搖) |
| 設計特點 | 模塊化超薄設計、單一電鏡定制、免維護、無壓縮空氣 |
| 更多參數請聯系我們獲取詳細規(guī)格書 |
測量圖
推薦產品組合
免費現場振動評估服務
Free On-site Vibration Assessment
不確定您的實驗室環(huán)境是否滿足電鏡運行要求?我們提供免費現場振動測量與評估服務!專業(yè)工程師攜帶振動分析儀上門測量,量化環(huán)境振動水平,并提供針對性隔振解決方案。
UNICORN 官方數據 | 最終解釋權歸UNICORN所有,參數可能因升級調整