UNICORN LS-1200 主動(dòng)式防震臺(tái) | 0.5Hz超低頻六自由度隔振 | 大型電鏡專用免維護(hù)UNICORN LS-1200 主動(dòng)式防震臺(tái)
大型電子顯微鏡專用主動(dòng)隔振系統(tǒng) | 0.5Hz超低頻隔振 | 六自由度主動(dòng)控制 | 模塊化超薄設(shè)計(jì)
LS-1200 是一款專為電子顯微鏡和大型精密儀器設(shè)計(jì)的主動(dòng)式隔振系統(tǒng)。通過壓電傳感器實(shí)時(shí)監(jiān)測環(huán)境振動(dòng)，利用控制器生成反向作用力，從0.5Hz超低頻開始主動(dòng)抵消六個(gè)自由度的振動(dòng)干擾。模塊化超薄設(shè)計(jì)可直接嵌入SEM/TEM底部，無需起重設(shè)備即可安裝。完美兼容蔡司、徠卡、日立、日本電子等主流品牌電鏡，實(shí)驗(yàn)室理想隔振伙伴。
五大核心優(yōu)勢
L
超低頻隔振
LFS低頻傳感器升級(jí)后隔振起點(diǎn)低至0.5Hz，完美覆蓋環(huán)境振動(dòng)、人員走動(dòng)等低頻干擾源。
六
六自由度主動(dòng)控制
同時(shí)抵消X/Y/Z平移和旋轉(zhuǎn)振動(dòng)，無低頻共振峰，瞬態(tài)響應(yīng)極快。
定
單一電鏡定制
根據(jù)每臺(tái)電鏡重量分布和安裝位置專屬設(shè)計(jì)，確保最佳隔振效果。
模
模塊化免安裝
超薄模塊化設(shè)計(jì)，無需起重設(shè)備，基本不改變儀器整體輪廓。
免
長期免維護(hù)
無壓縮空氣、無機(jī)械磨損件，安裝后無需定期校準(zhǔn)，降低運(yùn)維成本。
標(biāo)準(zhǔn)版 vs LFS低頻升級(jí)版
LS-1200支持升級(jí)LFS（低頻傳感器）系統(tǒng)，隔振起點(diǎn)從1Hz降至0.5Hz，低頻段隔振效率顯著提升。
| 對(duì)比指標(biāo) | LS-1200 標(biāo)準(zhǔn)版 | LS-1200 + LFS 升級(jí)版 |
|---|
| 隔振起點(diǎn) | 1 Hz | 0.5 Hz |
| 2.5Hz 隔振率 | 90% | 95% |
| 5Hz 隔振率 | 97% | 99% |
| 10Hz 隔振率 | 99% | 99.5% |
| 最大隔振率 | 99.8% (@70Hz) | 99.8% (@20Hz) |
核心技術(shù)特性
主動(dòng)+被動(dòng)全頻段隔振主動(dòng)系統(tǒng)針對(duì)0.5-200Hz低頻振動(dòng)精準(zhǔn)補(bǔ)償；被動(dòng)系統(tǒng)吸收200Hz以上高頻振動(dòng)能量，全頻段覆蓋無死角。
無低頻諧振峰內(nèi)部反饋回路主動(dòng)阻尼諧振，消除傳統(tǒng)被動(dòng)隔振臺(tái)固有的低頻共振峰，避免在特定頻率下放大振動(dòng)。
自適應(yīng)前饋控制實(shí)時(shí)監(jiān)測地基振動(dòng)信號(hào)，自適應(yīng)調(diào)節(jié)前饋補(bǔ)償參數(shù)，適應(yīng)不同樓層及環(huán)境的地基振動(dòng)特征。
典型應(yīng)用領(lǐng)域
掃描電子顯微鏡 (SEM)透射電子顯微鏡 (TEM)電子束光刻 (EBL)掃描隧道顯微鏡 (STM)超高真空SPM光刻設(shè)備光譜測量設(shè)備高精度計(jì)量設(shè)備
產(chǎn)品參數(shù)
| 參數(shù)項(xiàng) | 規(guī)格 |
|---|
| 隔振方式 | 主動(dòng)式（壓電傳感器+驅(qū)動(dòng)器）+ 被動(dòng)式 |
| 控制自由度 | 6自由度（X/Y/Z/橫搖/縱搖/平搖） |
| 隔振起點(diǎn)（標(biāo)準(zhǔn)） | 1 Hz |
| 隔振起點(diǎn)（LFS） | 0.5 Hz |
| 最大隔振率 | 99.8% (@70Hz標(biāo)準(zhǔn) / @20Hz LFS) |
| 諧振頻率 | 無（主動(dòng)阻尼消除） |
| 主動(dòng)隔振范圍 | 1 - 200 Hz |
| 被動(dòng)隔振范圍 | ≥ 200 Hz |
| 設(shè)計(jì)特點(diǎn) | 模塊化超薄設(shè)計(jì)、單一電鏡定制、免維護(hù)、無壓縮空氣 |
| 更多參數(shù)請聯(lián)系我們獲取詳細(xì)規(guī)格書 |
客戶評(píng)價(jià)
“安裝LS-1200后，場發(fā)射SEM在高倍成像時(shí)圖像漂移現(xiàn)象徹底消失，分辨率顯著提升。模塊化設(shè)計(jì)半天完成安裝，完全不需要改造實(shí)驗(yàn)室。
—— 某半導(dǎo)體晶圓廠 FA實(shí)驗(yàn)室
“大樓靠近主干道，低頻振動(dòng)困擾TEM使用。升級(jí)LFS系統(tǒng)后隔振起點(diǎn)降到0.5Hz，晶格分辨率測試達(dá)標(biāo)。免維護(hù)特性非常省心。
—— 某高校材料學(xué)院 電鏡中心
常見問題
LS-1200 適合哪些品牌型號(hào)的電子顯微鏡？
LS-1200采用為每臺(tái)電鏡單一專屬定制的設(shè)計(jì)理念，廣泛適配蔡司（ZEISS）、徠卡（Leica）、日立（Hitachi）、日本電子（JEOL）、賽默飛（Thermo Fisher/FEI）等主流品牌的全系列掃描電鏡（SEM）和透射電鏡（TEM）。請?zhí)峁﹥x器型號(hào)咨詢工程師獲取適配方案。
為什么主動(dòng)隔振比被動(dòng)隔振效果更好？
被動(dòng)隔振臺(tái)（氣浮、橡膠等）存在固有的低頻共振峰，通常在1-5Hz范圍內(nèi)反而放大振動(dòng)。LS-1200通過壓電傳感器和驅(qū)動(dòng)器主動(dòng)生成反向抵消力，無低頻共振峰，從0.5Hz超低頻起提供有效隔振，從根本上解決電鏡圖像漂移和分辨率下降問題。
安裝 LS-1200 需要改造實(shí)驗(yàn)室嗎？
通常不需要。LS-1200模塊化超薄設(shè)計(jì)，直接放置于電鏡原配支架下方或嵌入安裝，多數(shù)SEM無需專用起重設(shè)備即可安裝，基本不改變儀器輪廓，現(xiàn)場由專業(yè)工程師快速完成。
LFS 升級(jí)有什么好處？值得升級(jí)嗎？
LFS升級(jí)將隔振起點(diǎn)降至0.5Hz，顯著提升2.5Hz-10Hz低頻段隔振效率（5Hz從97%升至99%）。若實(shí)驗(yàn)室位于低樓層、靠近交通干線或大型設(shè)備，低頻振動(dòng)嚴(yán)重，LFS升級(jí)能帶來明顯圖像質(zhì)量提升?，F(xiàn)有設(shè)備可現(xiàn)場改造升級(jí)。
LS-1200 需要日常維護(hù)嗎？
不需要。壓電驅(qū)動(dòng)技術(shù)，無壓縮空氣需求，無機(jī)油或橡膠等易損件。安裝調(diào)試完成后長期免校準(zhǔn)、免保養(yǎng)，極大降低實(shí)驗(yàn)室運(yùn)維負(fù)擔(dān)。
推薦產(chǎn)品組合
免費(fèi)現(xiàn)場振動(dòng)評(píng)估服務(wù)
Free On-site Vibration Assessment
不確定您的實(shí)驗(yàn)室環(huán)境是否滿足電鏡運(yùn)行要求？我們提供免費(fèi)現(xiàn)場振動(dòng)測量與評(píng)估服務(wù)！專業(yè)工程師攜帶振動(dòng)分析儀上門測量，量化環(huán)境振動(dòng)水平，并提供針對(duì)性隔振解決方案。
UNICORN 官方數(shù)據(jù) | 最終解釋權(quán)歸UNICORN所有，參數(shù)可能因升級(jí)調(diào)整
