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白光干涉測(cè)量電介質(zhì)薄膜
成千上萬的電解質(zhì)薄膜被用于光學(xué),半導(dǎo)體,以及其他行業(yè), 而Filmetrics的儀器可以測(cè)量薄膜。常見的電介質(zhì)有:二氧化硅 – 簡單的材料之一, 主要是因?yàn)樗诖蟛糠止庾V上的無吸收性 (k=0), 而且非常接近化學(xué)計(jì)量 (就是說,硅:氧非常接近 1:2)。 受熱生長的二氧化硅對(duì)光譜反應(yīng)規(guī)范,通常被用來做厚度和折射率標(biāo)準(zhǔn)。 Filmetrics能測(cè)量3nm到1mm的二氧化硅厚度。
2023-06-08 admin查看詳情