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    Filmetrics-F40 薄膜厚度測(cè)量?jī)x

    Filmetrics的精密光譜測(cè)量系統(tǒng)讓用戶(hù)簡(jiǎn)單快速地測(cè)量薄膜的厚度和光學(xué)常數(shù),通過(guò)對(duì)待測(cè)膜層的上下界面間反射光譜的分析,幾秒鐘內(nèi)就可測(cè)量結(jié)果。

    • 產(chǎn)品名稱(chēng) 薄膜厚度測(cè)量?jī)x-膜厚儀
    • 品牌 Filmetrics
    • 產(chǎn)品型號(hào) F40
    • 產(chǎn)地 美國(guó)


    Filmetrics F40 薄膜厚度測(cè)量?jī)x



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    Filmetrics F40 薄膜厚度測(cè)量?jī)x產(chǎn)品介紹:

    Filmetrics F40 薄膜厚度測(cè)量?jī)x光譜測(cè)量系統(tǒng)讓用戶(hù)簡(jiǎn)單快速地測(cè)量薄膜的厚度和光學(xué)常數(shù),通過(guò)對(duì)待測(cè)膜層的上下界面間反射光譜的分析,幾秒鐘內(nèi)就可測(cè)量結(jié)果。當(dāng)測(cè)量需要在待測(cè)樣品表面的某些微小限定區(qū)域進(jìn)行,或者其他應(yīng)用要求光斑小至1微米時(shí),可以使用Filmetrics F40 薄膜厚度測(cè)量?jī)x。使用先校正顯微鏡的物鏡,再進(jìn)行測(cè)量,即可獲得厚度及光學(xué)參數(shù)值。只要透過(guò)FilmetricsC-mount連接附件,Filmetrics F40 薄膜厚度測(cè)量?jī)x就可以和市面上多數(shù)的顯微鏡連接使用。C-mount上裝備有CCD攝像頭,可以讓用戶(hù)從電腦屏幕上清晰地看樣品和測(cè)量位置。


    Filmetrics F40 薄膜厚度測(cè)量?jī)x產(chǎn)品特點(diǎn)優(yōu)勢(shì):

    • 結(jié)合顯微鏡的膜厚測(cè)量系統(tǒng),光斑小至一微米的測(cè)量精度;

    • 匹配市面多數(shù)的顯微鏡連接使用;

    • 清晰且直觀地觀察樣品并確認(rèn)測(cè)量位置;


    Filmetrics F40 薄膜厚度測(cè)量?jī)x測(cè)量原理:

    當(dāng)入射光穿透不同物質(zhì)的界面時(shí)將會(huì)有部分的光被反射,由于光的波動(dòng)性導(dǎo)致從多個(gè)界面的反射光彼此干涉,從而使反射光的多波長(zhǎng)光譜產(chǎn)生震蕩的現(xiàn)象。從光譜的震蕩頻率,可以判斷不同界面的距離進(jìn)而得到材料的厚度(越多的震蕩代表越大的厚度),同時(shí)也能得到其他的材料特性如折射率與粗糙度。

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    Filmetrics F40 薄膜厚度測(cè)量?jī)x產(chǎn)品應(yīng)用與膜層范例:

    • 薄膜特性:厚度、反射率、透射率、光學(xué)常數(shù)、均勻性、刻蝕量等

    • 薄膜種類(lèi):透明及半透明薄膜,常見(jiàn)如氧化物、聚合物甚至空氣

    • 薄膜狀態(tài):固態(tài)、液態(tài)和氣態(tài)薄膜都可以測(cè)量

    • 薄膜結(jié)構(gòu):?jiǎn)螌幽?、多層膜;平面、曲?/span>


    Filmetrics F40 薄膜厚度測(cè)量?jī)x產(chǎn)品常見(jiàn)工業(yè)應(yīng)用:

    半導(dǎo)體制造

    生物醫(yī)學(xué)元件

    MEMS微機(jī)電系統(tǒng)

    LCD液晶顯示器

    光刻膠

    聚合物

    光刻膠

    盒厚

    氧化物/氮化物

    聚對(duì)二甲苯

    硅膜

    聚酰亞胺

    生物膜/氣泡墻厚度

    氮化鋁

    ITO導(dǎo)電透明膜

    半導(dǎo)體膜層

    植入藥物涂層

    氧化鋅薄膜濾鏡



    Filmetrics F40 薄膜厚度測(cè)量?jī)x產(chǎn)品參數(shù):

    波長(zhǎng)范圍:

    190nm-1690nm

    光源:

    內(nèi)部顯微鏡光源

    測(cè)量nk值最小厚度

    50nm

    測(cè)量精度:

    0.02nm

    穩(wěn)定性:

    0.05nm

    準(zhǔn)確度*:取較大者

    50nm

    更多參數(shù)可聯(lián)系我們獲取


    Filmetrics F40 薄膜厚度測(cè)量?jī)x測(cè)量圖:

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    標(biāo)簽: KLA Filmetrics

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