Filmetrics F32 光反射式膜厚儀特殊的光譜分析系統(tǒng)采用半寬的3u rack- mount底盤，加上附加的分光計，可達(dá)到四個不同的位置(EXR和UVX版本至多兩個位置)。F32膜厚儀軟件可以通過數(shù)字I/O或主機(jī)軟件來控制啟動/停止/復(fù)位測量。測量數(shù)據(jù)可以自動導(dǎo)出到主機(jī)軟件中進(jìn)行統(tǒng)計過程控制。還提供可選的透鏡組件，以便于集成到現(xiàn)有的生產(chǎn)裝置上。
Filmetrics F32 光反射式膜厚儀特殊的光譜分析系統(tǒng)采用半寬的3u rack- mount底盤，加上附加的分光計，可達(dá)到四個不同的位置(EXR和UVX版本至多兩個位置)。F32膜厚儀軟件可以通過數(shù)字I/O或主機(jī)軟件來控制啟動/停止/復(fù)位測量。測量數(shù)據(jù)可以自動導(dǎo)出到主機(jī)軟件中進(jìn)行統(tǒng)計過程控制。還提供可選的透鏡組件，以便于集成到現(xiàn)有的生產(chǎn)裝置上。
非接觸測量：避免損傷薄膜，適用于脆弱或敏感材料；
高精度與寬量程&：垂直分辨率達(dá)納米級，可測厚度范圍從1nm至3mm；
多場景適用性：基本上所有光滑的、半透明的或低吸收系數(shù)的薄膜都可以測量。
測量速度快：配置完成后，數(shù)秒內(nèi)即可完成測量。
預(yù)裝了100多種材料，使得單層和多層薄膜的測量很容易實現(xiàn)
提供可選的透鏡組件，以便于集成到現(xiàn)有的生產(chǎn)裝置上。
當(dāng)入射光穿透不同物質(zhì)的界面時將會有部分的光被反射，由于光的波動性導(dǎo)致從多個界面的反射光彼此干涉，從而使反射光的多波長光譜產(chǎn)生震蕩的現(xiàn)象。從光譜的震蕩頻率，可以判斷不同界面的距離進(jìn)而得到材料的厚度（越多的震蕩代表越大的厚度），同時也能得到其他的材料特性如折射率與粗糙度。
薄膜特性：厚度、反射率、透射率、光學(xué)常數(shù)、均勻性、刻蝕量等
薄膜種類：透明及半透明薄膜，常見如氧化物、聚合物甚至空氣
薄膜狀態(tài)：固態(tài)、液態(tài)和氣態(tài)薄膜都可以測量
薄膜結(jié)構(gòu)：單層膜、多層膜；平面、曲面
顯示技術(shù) | 消費電子 | 派瑞林 | |
光刻膠 | OLED | 防水涂層 | 電子產(chǎn)品/電路板 |
介電層 | ITO和TCOs | 射頻識別 | 磁性材料 |
砷化鎵 | 空氣盒厚 | 太陽能電池 | 醫(yī)學(xué)器械 |
微機(jī)電系統(tǒng) | PVD和CVD | 鋁制外殼陽極膜 | 硅橡膠 |
波長范圍： | 380-1050nm | 光源： | 鹵素?zé)?/span> |
厚度測量范圍： | 15nm-70um | 測量精度： | 0.02nm |
光斑大?。?/span> | 探頭距樣品距離0.007倍 | 樣品臺尺寸： | 1mm-300mm |
關(guān)聯(lián)內(nèi)容
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