Filmetrics F32 光反射式膜厚儀
Filmetrics F32 光反射式膜厚儀產(chǎn)品介紹：
Filmetrics F32 光反射式膜厚儀特殊的光譜分析系統(tǒng)采用半寬的3u rack- mount底盤(pán)，加上附加的分光計(jì)，可達(dá)到四個(gè)不同的位置(EXR和UVX版本至多兩個(gè)位置)。F32膜厚儀軟件可以通過(guò)數(shù)字I/O或主機(jī)軟件來(lái)控制啟動(dòng)/停止/復(fù)位測(cè)量。測(cè)量數(shù)據(jù)可以自動(dòng)導(dǎo)出到主機(jī)軟件中進(jìn)行統(tǒng)計(jì)過(guò)程控制。還提供可選的透鏡組件，以便于集成到現(xiàn)有的生產(chǎn)裝置上。
Filmetrics F32 光反射式膜厚儀產(chǎn)品特點(diǎn)優(yōu)勢(shì)：
非接觸測(cè)量：避免損傷薄膜，適用于脆弱或敏感材料；
高精度與寬量程&：垂直分辨率達(dá)納米級(jí)，可測(cè)厚度范圍從1nm至3mm；
多場(chǎng)景適用性：基本上所有光滑的、半透明的或低吸收系數(shù)的薄膜都可以測(cè)量。
測(cè)量速度快：配置完成后，數(shù)秒內(nèi)即可完成測(cè)量。
預(yù)裝了100多種材料，使得單層和多層薄膜的測(cè)量很容易實(shí)現(xiàn)
提供可選的透鏡組件，以便于集成到現(xiàn)有的生產(chǎn)裝置上。
Filmetrics F32 光反射式膜厚儀產(chǎn)品測(cè)量原理：
當(dāng)入射光穿透不同物質(zhì)的界面時(shí)將會(huì)有部分的光被反射，由于光的波動(dòng)性導(dǎo)致從多個(gè)界面的反射光彼此干涉，從而使反射光的多波長(zhǎng)光譜產(chǎn)生震蕩的現(xiàn)象。從光譜的震蕩頻率，可以判斷不同界面的距離進(jìn)而得到材料的厚度（越多的震蕩代表越大的厚度），同時(shí)也能得到其他的材料特性如折射率與粗糙度。
Filmetrics F32 光反射式膜厚儀產(chǎn)應(yīng)用與膜層范例：
薄膜特性：厚度、反射率、透射率、光學(xué)常數(shù)、均勻性、刻蝕量等
薄膜種類(lèi)：透明及半透明薄膜，常見(jiàn)如氧化物、聚合物甚至空氣
薄膜狀態(tài)：固態(tài)、液態(tài)和氣態(tài)薄膜都可以測(cè)量
薄膜結(jié)構(gòu)：?jiǎn)螌幽?、多層膜；平面、曲?/span>
Filmetrics F32 光反射式膜厚儀產(chǎn)品常見(jiàn)工業(yè)應(yīng)用：
半導(dǎo)體膜層 | 顯示技術(shù) | 消費(fèi)電子 | 派瑞林 |
光刻膠 | OLED | 防水涂層 | 電子產(chǎn)品/電路板 |
介電層 | ITO和TCOs | 射頻識(shí)別 | 磁性材料 |
砷化鎵 | 空氣盒厚 | 太陽(yáng)能電池 | 醫(yī)學(xué)器械 |
微機(jī)電系統(tǒng) | PVD和CVD | 鋁制外殼陽(yáng)極膜 | 硅橡膠 |
Filmetrics F32 光反射式膜厚儀產(chǎn)品參數(shù)：
波長(zhǎng)范圍： | 380-1050nm | 光源： | 鹵素?zé)?/span> |
厚度測(cè)量范圍： | 15nm-70um | 測(cè)量精度： | 0.02nm |
光斑大?。?/span> | 探頭距樣品距離0.007倍 | 樣品臺(tái)尺寸： | 1mm-300mm |
Filmetrics F32 光反射式膜厚儀測(cè)量圖：
